[实用新型]具有高抗激光阈值的增透膜

摘要

本实用新型揭示了一种具有高抗激光阈值的增透膜，包括紫外融石英玻璃制成的镜头，所述镜头上沉积有中折射率的三氧化二铝层，所述三氧化二铝层上沉积有锆折射率的氧化铪层，所述氧化铪层上沉积有低折射率的二氧化硅层，且所述三氧化二铝层、氧化铪层以及二氧化硅层的外轮廓与所述镜头的外轮廓一致。本实用新型的有益效果主要体现在：结构简单，设计精巧，这三层结合具有抗激光损伤阈值高，低散射，低吸收，膜层牢固，膜层相互间应力互补，膜层不易破裂的特性，同时，无放射性，不会对操作员以及环境造成损害，可满足在6KW/cm2,10ns的激光器下连续长时间工作，打出精准图标或文字。

主权项

1.具有高抗激光阈值的增透膜，包括紫外融石英玻璃制成的镜头（1），其特征在于：所述镜头（1）上沉积有中折射率的三氧化二铝层（2），所述三氧化二铝层（2）上沉积有锆折射率的氧化铪层（3），所述氧化铪层（3）上沉积有低折射率的二氧化硅层（4），且所述三氧化二铝层（2）、氧化铪层（3）以及二氧化硅层（4）的外轮廓与所述镜头（1）的外轮廓一致。