[实用新型]一种高温扩散舟

摘要

本实用新型属于半导体加工设备技术领域，涉及一种高温扩散舟；其结构包括底板和支架；所述的底板为上方开口的长方体结构，其内部形成凹槽，底板两个侧面上对称开设有滑轨；凹槽内部设置有四个支架；其中两个支架设置在底板的两端，其底端两侧与底板铰接；另外两个支架设置在底板的中间位置，其底端两侧置于滑轨中，与滑轨滑动连接；底板侧面位于滑轨上方的位置均匀设置有定位孔；定位孔内置有定位销；支架能够放置在底板的凹槽内，避免了将支架拆下的繁琐过程，即可达到节省空间的效果，易于搬运和放置；上立柱和下立柱的设置有利于根据圆片数量灵活调节立柱的高度，加大了圆片承载量，提高了工作效率，其整体结构设计合理，应用范围广。

主权项

1.一种高温扩散舟，其主体结构包括底板（1）和支架（2）；其特征在于：所述的底板（1）为上方开口的长方体结构，其内部形成凹槽（3），底板（1）两个侧面上对称开设有滑轨（4）；凹槽（3）内部设置有四个支架（2）；其中两个支架（2）设置在底板（1）的两端，其底端两侧与底板（1）铰接；另外两个支架（2）设置在底板（1）的中间位置，其底端两侧置于滑轨（4）中，与滑轨（4）滑动连接；底板（1）侧面位于滑轨（4）上方的位置均匀设置有定位孔（5）；定位孔（5）内置有定位销。