[实用新型]一种柱状电容结构有效
| 申请号： | 201820677169.4 | 申请日： | 2018-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN208189581U | 公开（公告）日： | 2018-12-04 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/64 | 分类号： | H01L23/64 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 刘星 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种柱状电容结构，该柱状电容结构包括基底、分立设置的多个接触垫、分立设置的多个电容下电极板、电容介电层、电容上电极板，其中，电容下电极板包括一柱状主体，并可进一步包括连接于柱状主体侧壁的至少一层环形侧翼，以构成伞柱状电容下电极板。本实用新型提供的电容结构简单，可节省一些复杂的工艺步骤，例如不需增加额外的制程将电容下电极板之间彼此隔开，从而可以降低工艺难度，节约制造成本。电容下极板可形成凹凸不平的表面，其有效面积得到增大，因而能提高电容的存储电荷能力。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 电容结构 下电极板 柱状 本实用新型 分立设置 柱状主体 存储电荷能力 电容介电层 凹凸不平 多个电容 工艺步骤 工艺难度 环形侧翼 有效面积 制造成本 接触垫 下极板 侧壁 隔开 基底 极板 伞柱 上电 制程 节约 | ||
【主权项】：
1.一种柱状电容结构，其特征在于，所述柱状电容结构包括：基底；分立设置的多个接触垫，阵列排布于所述基底中；分立设置的多个电容下电极板，所述电容下电极板包括一柱状主体，且每个所述柱状主体分别与一个所述接触垫连接；电容介电层，被覆于多个所述电容下电极板表面；电容上电极板，被覆于所述电容介电层表面。
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