[实用新型]一种芯片烘干系统有效
| 申请号: | 201820559250.2 | 申请日: | 2018-04-19 |
| 公开(公告)号: | CN208045462U | 公开(公告)日: | 2018-11-02 |
| 发明(设计)人: | 刘能军 | 申请(专利权)人: | 四川芯联发电子有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 成都巾帼知识产权代理有限公司 51260 | 代理人: | 林娜 |
| 地址: | 629000 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
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| 摘要: | 本实用新型公开了一种芯片烘干系统,它包括机架(1)、送料装置和吹扫装置,机架(1)的左右端部分别经转轴旋转安装有主动辊筒(2)和从动辊筒(3),主动辊筒(2)和从动辊筒(3)之间安装有平带(4),平带(4)的顶表面上设置有多个储料单元,机架(1)之间旋转安装有凸轮轴(5),凸轮轴(5)上安装有凸轮(6),凸轮(6)位于主动辊筒(2)和从动辊筒(3)之间,且凸轮(6)位于平带(4)的上下层之间,送料装置包括支架、斜板(7)和漏斗(8),支架固设于机架(1)上且位于从动辊筒(3)的右侧。本实用新型的有益效果是:结构紧凑、提高芯片表面质量、提高烘干效率、缩短烘干周期。 | ||
| 搜索关键词: | 从动辊筒 主动辊筒 平带 凸轮轴 本实用新型 烘干系统 送料装置 支架 芯片 储料单元 吹扫装置 烘干效率 芯片表面 旋转安装 转轴旋转 左右端部 顶表面 上下层 烘干 固设 斜板 漏斗 | ||
【主权项】:
1.一种芯片烘干系统,其特征在于:它包括机架(1)、送料装置和吹扫装置,所述机架(1)的左右端部分别经转轴旋转安装有主动辊筒(2)和从动辊筒(3),主动辊筒(2)和从动辊筒(3)之间安装有平带(4),平带(4)的顶表面上设置有多个储料单元,所述机架(1)之间旋转安装有凸轮轴(5),凸轮轴(5)上安装有凸轮(6),凸轮(6)位于主动辊筒(2)和从动辊筒(3)之间,且凸轮(6)位于平带(4)的上下层之间,所述送料装置包括支架、斜板(7)和漏斗(8),支架固设于机架(1)上且位于从动辊筒(3)的右侧,斜板(7)设置于支架上,斜板(7)的下端部位于平带(4)上最右侧储料单元的正上方,斜板(7)的顶表面上设置有吸水层(9),漏斗(8)位于斜板(7)的上方,所述吹扫装置包括设置于机架(1)上的龙门架(15),龙门架(15)横梁的底部设置有管道(10),管道(10)上设置有进热管(11),管道(10)的底表面上且沿其长度方向上设置有多个喷气嘴(12)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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