[实用新型]一种芯片烘干系统有效

专利信息
申请号: 201820559250.2 申请日: 2018-04-19
公开(公告)号: CN208045462U 公开(公告)日: 2018-11-02
发明(设计)人: 刘能军 申请(专利权)人: 四川芯联发电子有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 成都巾帼知识产权代理有限公司 51260 代理人: 林娜
地址: 629000 四川*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 从动辊筒 主动辊筒 平带 凸轮轴 本实用新型 烘干系统 送料装置 支架 芯片 储料单元 吹扫装置 烘干效率 芯片表面 旋转安装 转轴旋转 左右端部 顶表面 上下层 烘干 固设 斜板 漏斗
【说明书】:

实用新型公开了一种芯片烘干系统,它包括机架(1)、送料装置和吹扫装置,机架(1)的左右端部分别经转轴旋转安装有主动辊筒(2)和从动辊筒(3),主动辊筒(2)和从动辊筒(3)之间安装有平带(4),平带(4)的顶表面上设置有多个储料单元,机架(1)之间旋转安装有凸轮轴(5),凸轮轴(5)上安装有凸轮(6),凸轮(6)位于主动辊筒(2)和从动辊筒(3)之间,且凸轮(6)位于平带(4)的上下层之间,送料装置包括支架、斜板(7)和漏斗(8),支架固设于机架(1)上且位于从动辊筒(3)的右侧。本实用新型的有益效果是:结构紧凑、提高芯片表面质量、提高烘干效率、缩短烘干周期。

技术领域

本实用新型涉及芯片烘干的技术领域,特别是一种芯片烘干系统。

背景技术

半导体芯片的尺寸小,其宽度只有0.5~1cm,长度为1~3cm,是电子行业中尤为重要的电子产品。在半导体芯片生产的最后一道工序是电镀,即在芯片的外表面电镀导电层,电镀后需将芯片进行清洗以洗掉芯片表面的电镀液,清洗后对芯片表面上的水分烘干,烘干后在芯片上焊引脚。其中烘干工序尤为重要,因为若芯片表面上还残留有水分,则会导致在使用过程中芯片短路烧毁,同时导致与芯片连接的设备烧毁,不仅不安全还增大了设备投入成本。现有的烘干方法为:将芯片排布于支架上,然后将整个支架放入于烘箱中,通过烘箱内加热管使烘箱内部温度升高,升高的温度来使芯片表面上的水分蒸干。然而,位于芯片与支架接触处的水分需要很长时间才能蒸干,因为两者之间的水分没有暴露出来,从而延长了烘干周期,降低了芯片的生产效率;此外采用芯片烘干后,芯片表面上出现水纹,降低了芯片的表面质量,影响芯片的整体外观,因为水是残留在芯片上的而不会流动的。因此亟需一种芯片烘干效率高、烘干周期短的芯片烘干系统。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的缺点,提供一种结构紧凑、提高芯片表面质量、提高烘干效率、缩短烘干周期的芯片烘干系统。

本实用新型的目的通过以下技术方案来实现:一种芯片烘干系统,它包括机架、送料装置和吹扫装置,所述机架的左右端部分别经转轴旋转安装有主动辊筒和从动辊筒,主动辊筒和从动辊筒之间安装有平带,平带的顶表面上设置有多个储料单元,所述机架之间旋转安装有凸轮轴,凸轮轴上安装有凸轮,凸轮位于主动辊筒和从动辊筒之间,且凸轮位于平带的上下层之间,所述送料装置包括支架、斜板和漏斗,支架固设于机架上且位于从动辊筒的右侧,斜板设置于支架上,斜板的下端部位于平带上最右侧储料单元的正上方,斜板的顶表面上设置有吸水层,漏斗位于斜板的上方,所述吹扫装置包括设置于机架上的龙门架,龙门架横梁的底部设置有管道,管道上设置有进热管,管道的底表面上且沿其长度方向上设置有多个喷气嘴。

所述储料单元包括两个设置于平带上的围板,两个围板之间设置有两个过滤网,所述平带、两个过滤网和两个围板围成容纳芯片的空间。

所述机架上固定安装有电机,电机的输出轴与主动辊筒的转轴连接。

所述吸水层为吸水油膏层。

所述漏斗固设于支架顶部。

所述凸轮轴上安装有手柄。

本实用新型具有以下优点:本实用新型结构紧凑、提高芯片表面质量、提高烘干效率、缩短烘干周期。

附图说明

图1 为本实用新型的结构示意图;

图2 为图1中去除支架后的俯视图;

图3 为图1的A向视图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步的描述,本实用新型的保护范围不局限于以下所述:

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