[实用新型]一种芯片烘干系统有效
| 申请号: | 201820559250.2 | 申请日: | 2018-04-19 |
| 公开(公告)号: | CN208045462U | 公开(公告)日: | 2018-11-02 |
| 发明(设计)人: | 刘能军 | 申请(专利权)人: | 四川芯联发电子有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 成都巾帼知识产权代理有限公司 51260 | 代理人: | 林娜 |
| 地址: | 629000 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 从动辊筒 主动辊筒 平带 凸轮轴 本实用新型 烘干系统 送料装置 支架 芯片 储料单元 吹扫装置 烘干效率 芯片表面 旋转安装 转轴旋转 左右端部 顶表面 上下层 烘干 固设 斜板 漏斗 | ||
本实用新型公开了一种芯片烘干系统,它包括机架(1)、送料装置和吹扫装置,机架(1)的左右端部分别经转轴旋转安装有主动辊筒(2)和从动辊筒(3),主动辊筒(2)和从动辊筒(3)之间安装有平带(4),平带(4)的顶表面上设置有多个储料单元,机架(1)之间旋转安装有凸轮轴(5),凸轮轴(5)上安装有凸轮(6),凸轮(6)位于主动辊筒(2)和从动辊筒(3)之间,且凸轮(6)位于平带(4)的上下层之间,送料装置包括支架、斜板(7)和漏斗(8),支架固设于机架(1)上且位于从动辊筒(3)的右侧。本实用新型的有益效果是:结构紧凑、提高芯片表面质量、提高烘干效率、缩短烘干周期。
技术领域
本实用新型涉及芯片烘干的技术领域,特别是一种芯片烘干系统。
背景技术
半导体芯片的尺寸小,其宽度只有0.5~1cm,长度为1~3cm,是电子行业中尤为重要的电子产品。在半导体芯片生产的最后一道工序是电镀,即在芯片的外表面电镀导电层,电镀后需将芯片进行清洗以洗掉芯片表面的电镀液,清洗后对芯片表面上的水分烘干,烘干后在芯片上焊引脚。其中烘干工序尤为重要,因为若芯片表面上还残留有水分,则会导致在使用过程中芯片短路烧毁,同时导致与芯片连接的设备烧毁,不仅不安全还增大了设备投入成本。现有的烘干方法为:将芯片排布于支架上,然后将整个支架放入于烘箱中,通过烘箱内加热管使烘箱内部温度升高,升高的温度来使芯片表面上的水分蒸干。然而,位于芯片与支架接触处的水分需要很长时间才能蒸干,因为两者之间的水分没有暴露出来,从而延长了烘干周期,降低了芯片的生产效率;此外采用芯片烘干后,芯片表面上出现水纹,降低了芯片的表面质量,影响芯片的整体外观,因为水是残留在芯片上的而不会流动的。因此亟需一种芯片烘干效率高、烘干周期短的芯片烘干系统。
实用新型内容
本实用新型的目的在于克服现有技术的缺点,提供一种结构紧凑、提高芯片表面质量、提高烘干效率、缩短烘干周期的芯片烘干系统。
本实用新型的目的通过以下技术方案来实现:一种芯片烘干系统,它包括机架、送料装置和吹扫装置,所述机架的左右端部分别经转轴旋转安装有主动辊筒和从动辊筒,主动辊筒和从动辊筒之间安装有平带,平带的顶表面上设置有多个储料单元,所述机架之间旋转安装有凸轮轴,凸轮轴上安装有凸轮,凸轮位于主动辊筒和从动辊筒之间,且凸轮位于平带的上下层之间,所述送料装置包括支架、斜板和漏斗,支架固设于机架上且位于从动辊筒的右侧,斜板设置于支架上,斜板的下端部位于平带上最右侧储料单元的正上方,斜板的顶表面上设置有吸水层,漏斗位于斜板的上方,所述吹扫装置包括设置于机架上的龙门架,龙门架横梁的底部设置有管道,管道上设置有进热管,管道的底表面上且沿其长度方向上设置有多个喷气嘴。
所述储料单元包括两个设置于平带上的围板,两个围板之间设置有两个过滤网,所述平带、两个过滤网和两个围板围成容纳芯片的空间。
所述机架上固定安装有电机,电机的输出轴与主动辊筒的转轴连接。
所述吸水层为吸水油膏层。
所述漏斗固设于支架顶部。
所述凸轮轴上安装有手柄。
本实用新型具有以下优点:本实用新型结构紧凑、提高芯片表面质量、提高烘干效率、缩短烘干周期。
附图说明
图1 为本实用新型的结构示意图;
图2 为图1中去除支架后的俯视图;
图3 为图1的A向视图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型做进一步的描述,本实用新型的保护范围不局限于以下所述:
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





