[实用新型]一种用于二氧化碳激光器的充气装置

摘要

本实用新型公开了一种用于二氧化碳激光器的充气装置，包括能够与激光器谐振腔（1）连通的连通管（2），所述的连通管（2）上带有连通管阀门（3），在连通管（2）的另一端分别连通有抽气管（4）和充气管（5）；所述抽气管（4）的输出端与真空泵（7）相连通且抽气管（4）上设有与控制器（9）相连接的真空电磁阀（6）；所述的充气管（5）分别通过相应的充气支管和对应的气瓶相连通，充气支管和气瓶的数量与待充气体种类相同且各充气支管上分别设有相应的充气电磁阀，且各充气电磁阀分别与控制器（9）相连接。本实用新型的充气装置能够充入多种工作气体且能有效控制单位时间的充气量和最终的充气量，从而达到精准控制充气精度的目的。

主权项

1.一种用于二氧化碳激光器的充气装置，包括能够与激光器谐振腔（1）连通的连通管（2），其特征在于：所述的连通管（2）上带有连通管阀门（3），在连通管（2）的另一端分别连通有抽气管（4）和充气管（5）；所述抽气管（4）的输出端与真空泵（7）相连通且抽气管（4）上设有与控制器（9）相连接的真空电磁阀（6）；所述的充气管（5）分别通过相应的充气支管和对应的气瓶相连通，充气支管和气瓶的数量与待充气体种类相同且各充气支管上分别设有相应的充气电磁阀，且各充气电磁阀分别与控制器（9）相连接；所述的气瓶包括氢气瓶（13）、氙气瓶（17）、二氧化碳瓶（21）、氮气瓶（25）、氦气瓶（29），氢气瓶（13）通过带有氢气电磁阀（14）的氢气充气支管（15）与充气管（5）的输入口相连通；氙气瓶（17）通过带有氙气电磁阀（18）的氙气充气支管（19）与充气管（5）的输入口相连通；二氧化碳瓶（21）通过带有二氧化碳电磁阀（22）的二氧化碳充气支管（23）与充气管（5）的输入口相连通；氮气瓶（25）通过带有氮气电磁阀（26）的氮气充气支管（27）与充气管（5）的输入口相连通；氦气瓶（29）通过带有氦气电磁阀（30）的氦气充气支管（31）与充气管（5）的输入口相连通；所述的氢气电磁阀（14）通过氢气继电器（16）与控制器（9）相连接，控制器（9）通过氢气继电器（16）来控制氢气电磁阀（14）的开关；氙气电磁阀（18）通过氙气继电器（20）与控制器（9）相连接，控制器（9）通过氙气继电器（20）来控制氙气电磁阀（18）的开关；二氧化碳电磁阀（22）通过二氧化碳继电器（24）与控制器（9）相连接，控制器（9）通过二氧化碳继电器（24）来控制二氧化碳电磁阀（22）的开关；氮气电磁阀（26）通过氮气继电器（28）与控制器（9）相连接，控制器（9）通过氮气继电器（28）来控制氮气电磁阀（26）的开关；氦气电磁阀（30）通过氦气继电器（32）与控制器（9）相连接，控制器（9）通过氦气继电器（32）来控制氦气电磁阀（30）的开关。