[实用新型]一种用于二氧化碳激光器的充气装置

权利要求书

1.一种用于二氧化碳激光器的充气装置，包括能够与激光器谐振腔（1）连通的连通管（2），其特征在于：所述的连通管（2）上带有连通管阀门（3），在连通管（2）的另一端分别连通有抽气管（4）和充气管（5）；所述抽气管（4）的输出端与真空泵（7）相连通且抽气管（4）上设有与控制器（9）相连接的真空电磁阀（6）；所述的充气管（5）分别通过相应的充气支管和对应的气瓶相连通，充气支管和气瓶的数量与待充气体种类相同且各充气支管上分别设有相应的充气电磁阀，且各充气电磁阀分别与控制器（9）相连接；所述的气瓶包括氢气瓶（13）、氙气瓶（17）、二氧化碳瓶（21）、氮气瓶（25）、氦气瓶（29），氢气瓶（13）通过带有氢气电磁阀（14）的氢气充气支管（15）与充气管（5）的输入口相连通；氙气瓶（17）通过带有氙气电磁阀（18）的氙气充气支管（19）与充气管（5）的输入口相连通；二氧化碳瓶（21）通过带有二氧化碳电磁阀（22）的二氧化碳充气支管（23）与充气管（5）的输入口相连通；氮气瓶（25）通过带有氮气电磁阀（26）的氮气充气支管（27）与充气管（5）的输入口相连通；氦气瓶（29）通过带有氦气电磁阀（30）的氦气充气支管（31）与充气管（5）的输入口相连通；所述的氢气电磁阀（14）通过氢气继电器（16）与控制器（9）相连接，控制器（9）通过氢气继电器（16）来控制氢气电磁阀（14）的开关；氙气电磁阀（18）通过氙气继电器（20）与控制器（9）相连接，控制器（9）通过氙气继电器（20）来控制氙气电磁阀（18）的开关；二氧化碳电磁阀（22）通过二氧化碳继电器（24）与控制器（9）相连接，控制器（9）通过二氧化碳继电器（24）来控制二氧化碳电磁阀（22）的开关；氮气电磁阀（26）通过氮气继电器（28）与控制器（9）相连接，控制器（9）通过氮气继电器（28）来控制氮气电磁阀（26）的开关；氦气电磁阀（30）通过氦气继电器（32）与控制器（9）相连接，控制器（9）通过氦气继电器（32）来控制氦气电磁阀（30）的开关。

2.根据权利要求1所述的用于二氧化碳激光器的充气装置，其特征在于：所述的连通管（2）与激光器谐振腔（1）上设置的气腔阀门（10）相连接。

3.根据权利要求1或2所述的用于二氧化碳激光器的充气装置，其特征在于：所述的连通管阀门（3）上带有总流量计（11）且连通管阀门（3）内侧的连通管（2）上设有真空计（12），真空计（12）的数据输出端口与控制器（9）的真空信号输入管脚相连接。

4.根据权利要求1所述的用于二氧化碳激光器的充气装置，其特征在于：所述的氢气电磁阀（14）、氙气电磁阀（18）、二氧化碳电磁阀（22）、氮气电磁阀（26）、氦气电磁阀（30）上分别带有对应的分流量计（33）。

5.根据权利要求1所述的用于二氧化碳激光器的充气装置，其特征在于：所述的真空电磁阀（6）通过抽气继电器（8）与控制器（9）相连接，控制器（9）通过抽气继电器（8）来控制真空电磁阀（6）的开关。