[实用新型]一种探针卡高度差检测工作台

摘要

本实用新型公开了一种探针卡高度差检测工作台，属于探针卡制作技术领域。包括本体，所述本体上表面相对设有支架，支架之间设有与升降驱动装置连接的升降台，导电圆盘位于升降台上，所述导电圆盘和升降驱动装置通过线缆连接控制系统，所述支架上通过螺栓安装压板。本申请中的金圆盘具有良好的导电率和极好的平面度，通过控制金圆盘的升降，系统会感知到高度不同的探针与金圆盘接触并导通在时序上的差异，然后通过控制系统的换算，在显示器显示各个探针间的高度差，具有精度高，速度快，效率高的优点。

主权项

1.一种探针卡高度差检测工作台，其特征在于，包括本体(1)，所述本体(1)上表面相对设有支架(2)，支架(2)之间设有与升降驱动装置(7)连接的升降台(6)，导电圆盘(5)位于升降台(6)上，所述导电圆盘(5)和升降驱动装置(7)通过线缆连接控制系统(10)，所述支架(2)上通过螺栓(4)安装压板(3)。