[实用新型]一种探针卡高度差检测工作台

说明书

本实用新型公开了一种探针卡高度差检测工作台，属于探针卡制作技术领域。包括本体，所述本体上表面相对设有支架，支架之间设有与升降驱动装置连接的升降台，导电圆盘位于升降台上，所述导电圆盘和升降驱动装置通过线缆连接控制系统，所述支架上通过螺栓安装压板。本申请中的金圆盘具有良好的导电率和极好的平面度，通过控制金圆盘的升降，系统会感知到高度不同的探针与金圆盘接触并导通在时序上的差异，然后通过控制系统的换算，在显示器显示各个探针间的高度差，具有精度高，速度快，效率高的优点。

技术领域

本实用新型涉及一种探针高度检测设备，属于探针卡制作技术领域。

背景技术

半导体测试过程中，探针卡上的针尖必须都要接触到被测物的测定点，否则会发生误测定现象。但是在新卡的制作过程中以及长期使用后，每个探针的高度会存在偏差，超出设计的平面度要求，所以探针卡高度检侧是一个重要环节。现有的检测方法多以人为测量为主，即，检测人员通过使用显微镜测量每根探针的高度，然后进行校正，检测人员对探针的反复调整费时费力，效率很低。

实用新型内容

为解决现有技术存在的缺陷，本实用新型的目的是提供一种提高探针高度差检测效率的探针卡高度差检测工作台。

本实用新型的技术方案是：一种探针卡高度差检测工作台，包括本体，所述本体上表面相对设有支架，支架之间设有与升降驱动装置连接的升降台，导电圆盘位于升降台上，所述导电圆盘和升降驱动装置通过线缆连接控制系统，所述支架上通过螺栓安装压板。

所述螺栓位于压板两端。

所述线缆通过位于本体侧部的接口连接导电圆盘。

所述升降驱动装置为升降电机。

所述支架上均布位置调节孔，固定螺栓贯穿所述位置调节孔连接本体。

每个所述支架上均布有三个位置调节孔。

所述控制系统连接控制手柄和显示器。

所述导电圆盘为金圆盘。

本实用新型的有益效果是：金圆盘具有良好的导电率和极好的平面度，通过控制金圆盘的升降，系统会感知到高度不同的探针与金圆盘接触并导通在时序上的差异，然后通过控制系统的换算，在显示器显示各个探针间的高度差，具有精度高，速度快，效率高的优点。

附图说明

图1为本实用新型的结构图；

图2为控制系统的控制原理图。

图中附图标记如下：1、本体，2、支架，3、压板，4、螺栓，5、导电圆盘，6、升降台，7、升降驱动装置，8、接口，9、位置调节孔，10、控制系统，11、控制手柄，12、显示器。

具体实施方式

下面结合附图1和2对本实用新型做进一步说明：

一种探针卡高度差检测工作台，包括本体1，所述本体1上表面相对设有支架2，支架2之间设有与升降驱动装置7连接的升降台6，导电圆盘5位于升降台6上，所述导电圆盘5和升降驱动装置7通过线缆连接控制系统10，所述支架2上通过螺栓4安装压板3。

所述螺栓4位于压板3两端。

所述线缆通过位于本体1侧部的接口8连接导电圆盘5。

所述升降驱动装置7为升降电机。

所述支架2上均布位置调节孔9，固定螺栓贯穿所述位置调节孔9连接本体1。

每个所述支架2上均布有三个位置调节孔9。位置调节孔为条形孔，条形孔与固定螺栓的相对位置可调整，进而改变两个支架2的间距，满足不同尺寸探针卡的测量使用。