[实用新型]一种单晶硅长晶炉有效
| 申请号： | 201820375561.3 | 申请日： | 2018-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN208121237U | 公开（公告）日： | 2018-11-20 |
| 发明（设计）人： | 罗乾;陈健;陈立民;韩永龙;文淑梅 | 申请（专利权）人： | 阳光能源（青海）有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京华仲龙腾专利代理事务所(普通合伙) 11548 | 代理人： | 李静 |
| 地址： | 810000 青海*** | 国省代码： | 青海;63 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公布了一种单晶硅长晶炉，涉及单晶硅生产领域，包括炉体以及延伸至炉体内部的提拉头，炉体内设置有坩埚，坩埚通过座体连接于炉体底部，坩埚的外部环绕有加热器，坩埚的上部设置有导流筒；加热器为双层结构，内层为圆筒状，外层为螺旋状；外层环形底部以及螺旋状上部；内层与外层之间设置有耐热材料制成的连接环；加热器的下部还设置有电极对，电极对包括设置于外层底部的第一电极以及设置于内层底部的第二电极；第一电极与第二电极分别与炉体底部的第一电极柱与第二电极柱连接。本实用新型的目的，提供一种单晶硅长晶炉，结构合理，锁热效果好，双层加热，化料效率高，温度均衡，减少热对流及损失。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶硅 坩埚 加热器 第二电极 第一电极 长晶炉 炉体 内层 本实用新型 电极 螺旋状 炉体内部 耐热材料 双层加热 双层结构 外层环形 温度均衡 导流筒 连接环 热对流 热效果 圆筒状 柱连接 化料 提拉 座体 环绕 体内 外部 延伸 | ||
【主权项】：
1.一种单晶硅长晶炉，包括炉体（2）以及延伸至炉体（2）内部的提拉头（6），所述炉体（2）内设置有坩埚（3），所述坩埚（3）通过座体（31）连接于炉体（2）底部，所述坩埚（3）的外部环绕有加热器（1），所述坩埚（3）的上部设置有导流筒（5）；其特征在于，所述加热器（1）为双层结构，内层（10）为圆筒状，外层（11）为螺旋状；所述外层（11）环形底部（111）以及螺旋状上部（112）；所述内层（10）与（11）外层之间设置有连接环（13）；所述加热器（1）的下部还设置有电极对（12），所述电极对（12）包括设置于外层（11）底部的第一电极（121）以及设置于内层（10）底部的第二电极（122）；所述第一电极（121）与第二电极（122）分别与炉体（2）底部的第一电极柱（41）与第二电极柱（42）连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于阳光能源（青海）有限公司，未经阳光能源（青海）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201820375561.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
