[实用新型]一种单晶硅长晶炉有效
| 申请号： | 201820375561.3 | 申请日： | 2018-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN208121237U | 公开（公告）日： | 2018-11-20 |
| 发明（设计）人： | 罗乾;陈健;陈立民;韩永龙;文淑梅 | 申请（专利权）人： | 阳光能源（青海）有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京华仲龙腾专利代理事务所(普通合伙) 11548 | 代理人： | 李静 |
| 地址： | 810000 青海*** | 国省代码： | 青海;63 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 单晶硅 坩埚 加热器 第二电极 第一电极 长晶炉 炉体 内层 本实用新型 电极 螺旋状 炉体内部 耐热材料 双层加热 双层结构 外层环形 温度均衡 导流筒 连接环 热对流 热效果 圆筒状 柱连接 化料 提拉 座体 环绕 体内 外部 延伸 | ||
1.一种单晶硅长晶炉，包括炉体（2）以及延伸至炉体（2）内部的提拉头（6），所述炉体（2）内设置有坩埚（3），所述坩埚（3）通过座体（31）连接于炉体（2）底部，所述坩埚（3）的外部环绕有加热器（1），所述坩埚（3）的上部设置有导流筒（5）；其特征在于，所述加热器（1）为双层结构，内层（10）为圆筒状，外层（11）为螺旋状；所述外层（11）环形底部（111）以及螺旋状上部（112）；所述内层（10）与（11）外层之间设置有连接环（13）；所述加热器（1）的下部还设置有电极对（12），所述电极对（12）包括设置于外层（11）底部的第一电极（121）以及设置于内层（10）底部的第二电极（122）；所述第一电极（121）与第二电极（122）分别与炉体（2）底部的第一电极柱（41）与第二电极柱（42）连接。
2.根据权利要求1所述的一种单晶硅长晶炉，其特征在于，所述上部（112）与内层（10）之间沿螺旋方向间隔设置有定位块（15）。
3.根据权利要求1所述的一种单晶硅长晶炉，其特征在于，所述内层（10）的第二电极（122）相对一侧设置有支撑脚（14）。
4.根据权利要求1所述的一种单晶硅长晶炉，其特征在于，所述内层（10）高于外层（11）。
5.根据权利要求1所述的一种单晶硅长晶炉，其特征在于，所述内层（10）由若干个“几”字型块组成，其平面展开形状形成直角弯折的S型。
6.根据权利要求1所述的一种单晶硅长晶炉，其特征在于，炉体（2）圆周内壁上设置有隔热保温层（21）。
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