[实用新型]一种3D研磨设备的等分研磨盘有效
申请号: | 201820375186.2 | 申请日: | 2018-03-20 |
公开(公告)号: | CN208019989U | 公开(公告)日: | 2018-10-30 |
发明(设计)人: | 刘金龙 | 申请(专利权)人: | 深圳市德治鑫自动化设备有限公司 |
主分类号: | B24B37/11 | 分类号: | B24B37/11;B24B37/34;B24B47/12;B24B55/06 |
代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 汤东凤 |
地址: | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 一种3D研磨设备的等分研磨盘,本实用新型涉及研磨机技术领域;支撑板的下部固定有减速电机,减速电机的输出轴上连接有主动齿轮,主动齿轮上啮合有从动齿轮,且从动齿轮通过连接轴与电气旋转滑环连接,电气旋转滑环固定在支撑板上,从动齿轮与电气旋转滑环之间的连接轴上端穿过底板后与中部同步传动齿轮连接固定,中部同步传动齿轮上啮合有数个磨盘传动齿轮,每个磨盘传动齿轮均通过转轴旋接固定在上罩上,且该转轴的顶端均连接固定有磨盘。其等分的数个研磨盘能够同时实现多个研磨工序的进行,大大提高研磨效率,实用性更强。 | ||
搜索关键词: | 从动齿轮 旋转滑环 研磨盘 磨盘 啮合 传动齿轮 减速电机 同步传动 研磨设备 主动齿轮 连接轴 支撑板 转轴 底板 本实用新型 齿轮连接 连接固定 研磨效率 研磨 输出轴 研磨机 上端 齿轮 上罩 旋接 穿过 | ||
【主权项】:
1.一种3D研磨设备的等分研磨盘,其特征在于:它包含真空旋转平台和下磨盘机构;真空旋转平台的上部等分设有数个下磨盘机构;所述的下磨盘机构由支撑板、减速电机、主动齿轮、从动齿轮、电气旋转滑环、底板、上罩、磨盘传动齿轮、中部同步传动齿轮和磨盘构成;支撑板的下部固定有减速电机,减速电机的输出轴上连接有主动齿轮,主动齿轮上啮合有从动齿轮,且从动齿轮通过连接轴与电气旋转滑环连接,电气旋转滑环固定在支撑板上,从动齿轮与电气旋转滑环之间的连接轴上端穿过底板后与中部同步传动齿轮连接固定,中部同步传动齿轮上啮合有数个磨盘传动齿轮,每个磨盘传动齿轮均通过转轴旋接固定在上罩上,且该转轴的顶端均连接固定有磨盘;所述的上罩罩设固定在底板上,底板固定在支撑板上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市德治鑫自动化设备有限公司,未经深圳市德治鑫自动化设备有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201820375186.2/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:自清洗半导体晶圆研磨设备
- 下一篇:一种研磨盘