[实用新型]一种3D研磨设备的等分研磨盘

权利要求书

1.一种3D研磨设备的等分研磨盘，其特征在于：它包含真空旋转平台和下磨盘机构；真空旋转平台的上部等分设有数个下磨盘机构；所述的下磨盘机构由支撑板、减速电机、主动齿轮、从动齿轮、电气旋转滑环、底板、上罩、磨盘传动齿轮、中部同步传动齿轮和磨盘构成；支撑板的下部固定有减速电机，减速电机的输出轴上连接有主动齿轮，主动齿轮上啮合有从动齿轮，且从动齿轮通过连接轴与电气旋转滑环连接，电气旋转滑环固定在支撑板上，从动齿轮与电气旋转滑环之间的连接轴上端穿过底板后与中部同步传动齿轮连接固定，中部同步传动齿轮上啮合有数个磨盘传动齿轮，每个磨盘传动齿轮均通过转轴旋接固定在上罩上，且该转轴的顶端均连接固定有磨盘；所述的上罩罩设固定在底板上，底板固定在支撑板上。

2.根据权利要求1所述的一种3D研磨设备的等分研磨盘，其特征在于：所述的从动齿轮与电气旋转滑环之间的连接轴的下端贯通连接有总真空进气口；每个磨盘传动齿轮与上罩之间的转轴的下端均贯通连接有分真空进气口，其上端均与磨盘上的真空吸附孔相互贯通设置，每个分真空进气口均通过管道与总真空进气口连接，总真空进气口与外部真空气源连接。

3.根据权利要求1所述的一种3D研磨设备的等分研磨盘，其特征在于：所述的等分研磨盘通过支撑板固定在真空旋转平台上。