[实用新型]一种单晶硅炉观察窗

摘要

本实用新型公布了一种单晶硅炉观察窗，包括下炉体和上炉盖，上炉盖设有提拉组件，下炉体设有导流筒；下炉体有内腔，内腔内设有坩埚，坩埚中部内凹，内凹处设有石墨加热器；上炉盖的倾斜端面沿拉晶方向设置有观察机构，观察机构包括一耐高温圆筒，圆筒焊接在上炉盖上，在圆筒内部密封有一钢化玻璃，圆筒的外端面上密封设置有固定件，固定件上螺纹设置有一螺杆，螺杆一端连接调节螺帽，另一端伸入圆筒内固定连接调节镜片，调节镜片另一端与铰接支点连接。提供一种单晶硅炉观察窗，解决现有单炉炼制导致能源浪费和工作效率低的问题，该硅炉具有生产效率高、成品率高、加工成本低的优点。

主权项

1.一种单晶硅炉观察窗，包括下炉体（1）和上炉盖（2），所述上炉盖（2）上设置有提拉组件（3），下炉体（1）上设置有导流筒（4）；其特征在于，所述的下炉体（1）内有内腔（5），所述内腔（5）内设有坩埚（6），所述的坩埚（6）中部内凹，其内凹处设置有石墨加热器（7），所述石墨加热器（7）底部设有支撑杆（8），所述支撑杆（8）通过安装座（9）固定于下炉体（1）上，所述支撑杆（8）外套设有十字套管（10），所述十字套管（10）上连有齿轮部件（11），坩埚（6）通过连接杆（12）连接于十字套管（10）；所述安装座（9）上设置有电机（13），所述电机（13）与齿轮部件（11）通过驱动齿条（14）连接；安装座（9）的底部设置有气缸（15）；所述上炉盖（2）的倾斜端面沿拉晶方向设置有观察机构（17），所述观察机构（17）包括一耐高温圆筒（171），所述圆筒（171）焊接在上炉盖（2）上，在圆筒（171）内部密封有一钢化玻璃（172），圆筒（171）的外端面上密封设置有固定件（173），所述固定件（173）上螺纹设置有一螺杆（174），所述螺杆（174）一端连接调节螺帽（175），另一端伸入圆筒（171）内固定连接调节镜片（176），所述的调节镜片（176）另一端与铰接支点（177）连接。