[实用新型]一种单晶硅炉观察窗

权利要求书

1.一种单晶硅炉观察窗，包括下炉体（1）和上炉盖（2），所述上炉盖（2）上设置有提拉组件（3），下炉体（1）上设置有导流筒（4）；其特征在于，所述的下炉体（1）内有内腔（5），所述内腔（5）内设有坩埚（6），所述的坩埚（6）中部内凹，其内凹处设置有石墨加热器（7），所述石墨加热器（7）底部设有支撑杆（8），所述支撑杆（8）通过安装座（9）固定于下炉体（1）上，所述支撑杆（8）外套设有十字套管（10），所述十字套管（10）上连有齿轮部件（11），坩埚（6）通过连接杆（12）连接于十字套管（10）；所述安装座（9）上设置有电机（13），所述电机（13）与齿轮部件（11）通过驱动齿条（14）连接；安装座（9）的底部设置有气缸（15）；所述上炉盖（2）的倾斜端面沿拉晶方向设置有观察机构（17），所述观察机构（17）包括一耐高温圆筒（171），所述圆筒（171）焊接在上炉盖（2）上，在圆筒（171）内部密封有一钢化玻璃（172），圆筒（171）的外端面上密封设置有固定件（173），所述固定件（173）上螺纹设置有一螺杆（174），所述螺杆（174）一端连接调节螺帽（175），另一端伸入圆筒（171）内固定连接调节镜片（176），所述的调节镜片（176）另一端与铰接支点（177）连接。

2.根据权利要求1所述一种单晶硅炉观察窗，其特征在于，所述的石墨加热器（7）为U型结构，内部设有螺旋盘状的石墨管（71）。

3.根据权利要求1所述一种单晶硅炉观察窗，其特征在于，所述的导流筒（4）与坩埚（6）结构相同，位于坩埚（6）上端。

4.根据权利要求1所述一种单晶硅炉观察窗，其特征在于，所述下炉体（1）与内腔（5）之间设置有保温层（16）。

5.根据权利要求1所述一种单晶硅炉观察窗，其特征在于，所述固定件（173）与调节镜片（176）之间的螺杆（174）上套装有压缩弹簧（178）。

6.根据权利要求5所述一种单晶硅炉观察窗，其特征在于，所述钢化玻璃（172）为双层夹层结构，玻璃中部附有一层导电膜（1721），所述导电膜（1721）与加热模块电连接。

7.根据权利要求5所述一种单晶硅炉观察窗，其特征在于，所述固定件（173）上连接有法兰管（179），所述的法兰管（179）内部设置有视镜（180），外端铰接有盖板（181）。