[实用新型]一种双面真空磁控溅射卷绕镀膜装置

摘要

本实用新型公开了一种双面真空磁控溅射卷绕镀膜装置，包括控制箱、立柱、加强筋和镀膜箱，所述立柱一侧设置有所述控制箱，所述立柱远离所述控制箱一侧设置有所述加强筋，所述驱动电机一侧设置有防护罩，所述防护罩内设置有链轮，所述链轮上设置有链条，所述机架上设置有放料辊架，所述放料辊架上设置有放料辊，所述控制箱上设置有显示屏，所述显示屏下方设置有急停按钮，所述急停按钮一侧设置有控制按钮。有益效果在于：本实用新型设置有深冷泵，能够提高对连续镀膜过程中基材的放气抽速，从而提高了工作效率，设置有主动轮和从动轮，能够对基材进行双面真空磁控溅射，工作效率较高、镀膜质量极高，经济性较好。

主权项

1.一种双面真空磁控溅射卷绕镀膜装置，其特征在于：包括控制箱（1）、立柱（2）、加强筋（3）和镀膜箱（4），所述立柱（2）一侧设置有所述控制箱（1），所述立柱（2）远离所述控制箱（1）一侧设置有所述加强筋（3），所述加强筋（3）远离所述立柱（2）一侧设置有所述镀膜箱（4），所述镀膜箱（4）上设置有导向轮架（6），所述导向轮架（6）上设置有导向轮（5），所述立柱（2）上设置有机架（7），所述机架（7）上设置有收料辊架（8），所述收料辊架（8）上设置有收料辊（9），所述收料辊（9）一侧设置有皮带轮（10），所述皮带轮（10）上设置有皮带（11），所述皮带（11）远离所述皮带轮（10）一端设置有收料电机（12），所述收料电机（12）远离所述收料辊架（8）的一侧设置有真空泵箱（13），所述镀膜箱（4）上设置有驱动电机（14），所述驱动电机（14）一侧设置有防护罩（15），所述防护罩（15）内设置有链轮（18），所述链轮（18）上设置有链条（16），所述机架（7）上设置有放料辊架（21），所述放料辊架（21）上设置有放料辊（19），所述放料辊（19）上设置有基材（17），所述放料辊（19）一侧设置有轴承端盖（20），所述镀膜箱（4）内设置有真空腔（25），所述真空腔（25）内设置有主动辊（23），所述主动辊（23）一侧设置有阴极靶（22），所述镀膜箱（4）底部设置有深冷泵（24），所述主动辊（23）远离所述阴极靶（22）的一侧设置有从动辊（26），所述从动辊（26）一侧设置有涨紧轮（27），所述控制箱（1）上设置有显示屏（28），所述显示屏（28）下方设置有急停按钮（29），所述急停按钮（29）一侧设置有控制按钮（30）。