[实用新型]一种用于研磨抛光机的冷却结构有效
| 申请号： | 201820338408.3 | 申请日： | 2018-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN208084151U | 公开（公告）日： | 2018-11-13 |
| 发明（设计）人： | 王永成 | 申请（专利权）人： | 上海致领半导体科技发展有限公司 |
| 主分类号： | B24B55/02 | 分类号： | B24B55/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201319 上海市浦东新区*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种用于研磨抛光机的冷却结构，用于研磨工件的研磨盘位于研磨盘基座上，研磨盘与研磨盘基座贴合。研磨盘基座上设置有用于冷却水流动的沟槽，沟槽的开口是向下开的。紧贴研磨盘基座下端面的是冷却盘盖板，冷却盘盖板封盖住了研磨盘基座上的沟槽。与沟槽相连的进出水管向上与进出水口连通。沟槽的回路形状呈现为盘香形状。本实用新型将冷却水沟槽直接设计在研磨盘基座上，省去了冷却盘，简化了研磨抛光机的冷却结构，方便的安装和维修工作。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨盘 研磨抛光机 冷却结构 冷却盘 本实用新型 冷却水流动 盖板封盖 回路形状 进出水管 进出水口 研磨工件 冷却水 盖板 盘香 贴合 下端 连通 紧贴 开口 维修 | ||
【主权项】：
1.一种用于研磨抛光机的冷却结构，其特征在于，用于研磨工件的研磨盘位于研磨盘基座上，研磨盘与研磨盘基座贴合，研磨盘基座上设置有用于冷却水流动的沟槽，沟槽的开口是向下开的，紧贴研磨盘基座下端面的是冷却盘盖板，冷却盘盖板封盖住了研磨盘基座上的沟槽。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海致领半导体科技发展有限公司，未经上海致领半导体科技发展有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201820338408.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
