[实用新型]一种用于研磨抛光机的冷却结构有效
申请号: | 201820338408.3 | 申请日: | 2018-03-13 |
公开(公告)号: | CN208084151U | 公开(公告)日: | 2018-11-13 |
发明(设计)人: | 王永成 | 申请(专利权)人: | 上海致领半导体科技发展有限公司 |
主分类号: | B24B55/02 | 分类号: | B24B55/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 201319 上海市浦东新区*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 研磨盘 研磨抛光机 冷却结构 冷却盘 本实用新型 冷却水流动 盖板封盖 回路形状 进出水管 进出水口 研磨工件 冷却水 盖板 盘香 贴合 下端 连通 紧贴 开口 维修 | ||
一种用于研磨抛光机的冷却结构,用于研磨工件的研磨盘位于研磨盘基座上,研磨盘与研磨盘基座贴合。研磨盘基座上设置有用于冷却水流动的沟槽,沟槽的开口是向下开的。紧贴研磨盘基座下端面的是冷却盘盖板,冷却盘盖板封盖住了研磨盘基座上的沟槽。与沟槽相连的进出水管向上与进出水口连通。沟槽的回路形状呈现为盘香形状。本实用新型将冷却水沟槽直接设计在研磨盘基座上,省去了冷却盘,简化了研磨抛光机的冷却结构,方便的安装和维修工作。
技术领域
本实用新型属于研磨抛光技术领域,特别涉及一种用于研磨抛光机的冷却结构。
背景技术
中国专利文献CN101148026A,公开了“一种修整环型智能超精密抛光机,包括机座、抛光盘、驱动电机、测速机构以及智能控制平台、所述抛光盘通过主轴安装在机座上,所述驱动电机的输出轴与主轴传动连接,所述主轴与测速机构传动连接,所述的智能控制平台连接驱动电机和测速机构,所述的超精密抛光机还包括修整环、修整环保持架,所述的修整环内安装用于夹装工件的基盘,所述的修整环位于所述抛光盘的上方,所述的修整环保持架安装在机座上,所述修正环保持架设有弧形段,所述弧形段的弧度不小于π/2,所述的弧形段的两端设有摩擦轮,所述的修整环嵌入所述弧形段并靠接在两个摩擦轮上,且所述修整环与所述弧形段之间有间隙”。其中的抛光盘也就是研磨盘。该技术方案没有公开对于研磨抛光机的冷却问题如何解决。
就发明人所知,有一种用于研磨抛光机的冷却结构,如图2所示,研磨盘安装在研磨盘基座上,紧贴在研磨盘基座的下端面的是冷却盘,冷却盘上设置有用于冷却水流动的沟槽。在冷却盘的下端面是封盖住冷却盘沟槽的冷却盘盖板。与冷却盘沟槽想连通的进出水管向下直到位于研磨抛光机机架底部的进出水口。这种结构在实践中安装有些困难,修理也相对繁琐。
实用新型内容
本实用新型的实施例提供了一种用于研磨抛光机的冷却结构,目的在于解决现有研磨抛光机的冷却结构复杂的问题。
本实用新型的实施例之一是,一种用于研磨抛光机的冷却结构,用于研磨工件的研磨盘位于研磨盘基座上,研磨盘与研磨盘基座贴合。研磨盘基座上设置有用于冷却水流动的沟槽,沟槽的开口是向下开的。紧贴研磨盘基座下端面的是冷却盘盖板,冷却盘盖板封盖住了研磨盘基座上的沟槽。
进一步的,与所述沟槽相连的进出水管向上与进出水口连通。所述沟槽的回路形状呈现为盘香形状。进出水管与沟槽的连接处位于研磨盘基座的中心位置。
本实用新型的实施例的有益效果之一是,将冷却水沟槽直接设计在研磨盘基座上,省去了冷却盘,简化了研磨抛光机的冷却结构,方便的安装和维修工作。
附图说明
通过参考附图阅读下文的详细描述,本实用新型示例性实施方式的上述以及其他目的、特征和优点将变得易于理解。在附图中,以示例性而非限制性的方式示出了本实用新型的若干实施方式,其中:
图1本实用新型实施例中涉及的研磨抛光机示意图。
图2本实用新型涉及的一种已有的研磨抛光机的冷却结构剖视图。图3本实用新型实施例涉及的研磨抛光机的冷却结构剖视图。
图4本实用新型实施例涉及的研磨盘基座结构示意图。
1——气缸支架,2——气缸,3——压力盘,4——控制显示器,5——研磨盘,6——修整环,7——导轮,8——导轮臂,9——桌面,10——机架,11——研磨盘基座,12——冷却盘,13——冷却盘盖板,14——进出水口。
具体实施方式
如图1所示,在一些实施例中,研磨抛光设备包括,机架、置于机架上的桌面、以及安装在桌面上的气缸支架。在气缸支架上垂直安装有3个气缸,每个气缸运动部都安装有压力盘。
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