[实用新型]一种大视场拼接式曝光机

摘要

本实用新型公开了一种大视场拼接式曝光机，该曝光机的特征在于，将信号源输出的数字图形进行横向与纵向的分割，将每个子视场的图像分别传输至四片相同规格的LCOS上，每片LCOS再经过偏振分光片及两个全反射棱镜后，拼接成与原视场相同的图像，即总分辨率扩展为原芯片的4倍，该曝光机可以有效的克服传统曝光机视场受芯片尺寸限制，不能进行大面幅曝光问题。

主权项

1.一种大视场拼接式曝光机，其特征在于，包括成像镜头Lens，四片规格相同的硅基液晶，即LCOS‑1，LCOS‑2，LCOS‑3及LCOS‑4，四片偏振分光片，即PBS‑1，PBS‑2，PBS‑3及PBS‑4，四块规格相同的I型直角三角形全反射棱镜TIR‑I‑1，TIR‑I‑2，TIR‑I‑3及TIR‑I‑4，两块规格相同的II型直角三角形全反射棱镜TIR‑II‑1及TIR‑II‑2，四个光源LS‑1，LS‑2，LS‑3及LS‑4组成；其中，光源LS‑1，LS‑2，LS‑3及LS‑4分别通过PBS‑1，PBS‑2，PBS‑3及PBS‑4对LCOS‑1，LCOS‑2，LCOS‑3，LCOS‑4独立照明，LCOS‑1，LCOS‑2，LCOS‑3及LCOS‑4分别与PBS‑1，PBS‑2，PBS‑3及PBS‑4组合，PBS与LCOS光敏面的夹角为45°，PBS‑1，PBS‑2，PBS‑3及PBS‑4再分别与TIR‑I‑1，TIR‑I‑2，TIR‑I‑3及TIR‑I‑4相对接，PBS与TIR‑I入射面的夹角仍为45°，TIR‑I的入射面为A面，全反射面为B面，出射面为C面，其余两个面分别为上端面I及下端面I，TIR‑II的入射面为D面，全反射面为E面，出射面为F面，其余两个面分别为上端面II及下端面II，TIR‑I与TIR‑II正交布置，即TIR‑I的端面与TIR‑II的端面垂直，然后将TIR‑I‑1及TIR‑I‑4的C面与TIR‑II‑1的D面胶合，TIR‑I‑1及TIR‑I‑4的A面分别与TIR‑II‑1上下端面重合，TIR‑I‑1及TIR‑I‑4的下端面与TIR‑II‑1的F面重合；TIR‑I‑2及TIR‑I‑3的C面与TIR‑II‑2的D面胶合，TIR‑I‑2及TIR‑I‑3的A面分别与TIR‑II‑2上下端面重合，TIR‑I‑2及TIR‑I‑3的下端面与TIR‑II‑1的F面重合，TIR‑II‑1及TIR‑II‑2的F面及上下端面保持重合，TIR‑II‑1及TIR‑II‑2拼装组合后，再与Lens对接。