[实用新型]一种大视场拼接式曝光机

权利要求书

1.一种大视场拼接式曝光机，其特征在于，包括成像镜头Lens，四片规格相同的硅基液晶，即LCOS-1，LCOS-2，LCOS-3及LCOS-4，四片偏振分光片，即PBS-1，PBS-2，PBS-3及PBS-4，四块规格相同的I型直角三角形全反射棱镜TIR-I-1，TIR-I-2，TIR-I-3及TIR-I-4，两块规格相同的II型直角三角形全反射棱镜TIR-II-1及TIR-II-2，四个光源LS-1，LS-2，LS-3及LS-4组成；

其中，光源LS-1，LS-2，LS-3及LS-4分别通过PBS-1，PBS-2，PBS-3及PBS-4对LCOS-1，LCOS-2，LCOS-3，LCOS-4独立照明，LCOS-1，LCOS-2，LCOS-3及LCOS-4分别与PBS-1，PBS-2，PBS-3及PBS-4组合，PBS与LCOS光敏面的夹角为45°，PBS-1，PBS-2，PBS-3及PBS-4再分别与TIR-I-1，TIR-I-2，TIR-I-3及TIR-I-4相对接，PBS与TIR-I入射面的夹角仍为45°，TIR-I的入射面为A面，全反射面为B面，出射面为C面，其余两个面分别为上端面I及下端面I，TIR-II的入射面为D面，全反射面为E面，出射面为F面，其余两个面分别为上端面II及下端面II，TIR-I与TIR-II正交布置，即TIR-I的端面与TIR-II的端面垂直，然后将TIR-I-1及TIR-I-4的C面与TIR-II-1的D面胶合，TIR-I-1及TIR-I-4的A面分别与TIR-II-1上下端面重合，TIR-I-1及TIR-I-4的下端面与TIR-II-1的F面重合；TIR-I-2及TIR-I-3的C面与TIR-II-2的D面胶合，TIR-I-2及TIR-I-3的A面分别与TIR-II-2上下端面重合，TIR-I-2及TIR-I-3的下端面与TIR-II-1的F面重合，TIR-II-1及TIR-II-2的F面及上下端面保持重合，TIR-II-1及TIR-II-2拼装组合后，再与Lens对接。

2.根据权利要求1所述的大视场拼接式曝光机，其特征在于，所述光源LS-1发出的光先通过对应的PBS-1透射后，转换成p型偏振光，经LCOS-1反射后转变为加载对应的图像信息且偏振态为s型偏振光的光场，该光场经过PBS-1反射后，由A1面进入TIR-I-1，经过B1面发生全反射后，经胶合面C1面进入TIR-II-1中， D1面进行第二次全反射，经过E1面出射，在两次全反射过程中，光场的偏振态始终为s型偏振光，最后，成像镜头将图像投射到工作面进行数字曝光；

光源LS-2发出的光先通过对应的PBS-2透射后，转换成p型偏振光，经LCOS-2反射后转变为加载对应的图像信息且偏振态为s型偏振光的光场，该光场经过PBS-2反射后，由A2面进入TIR-I-2，经过B2面发生全反射后，经胶合面C2面进入TIR-II-2中， D2面进行第二次全反射，经过E2面出射，在两次全反射过程中，光场的偏振态始终为s型偏振光，最后，成像镜头将图像投射到工作面进行数字曝光；

光源LS-3发出的光先通过对应的PBS-3透射后，转换成p型偏振光，经LCOS-3反射后转变为加载对应的图像信息且偏振态为s型偏振光的光场，该光场经过PBS-3反射后，由A3面进入TIR-I-3，经过B3面发生全反射后，经胶合面C3面进入TIR-II-2中， D2面进行第二次全反射，经过E2面出射，在两次全反射过程中，光场的偏振态始终为s型偏振光，最后，成像镜头将图像投射到工作面进行数字曝光；

光源LS-4发出的光先通过对应的PBS-4透射后，转换成p型偏振光，经LCOS-4反射后转变为加载对应的图像信息且偏振态为s型偏振光的光场，该光场经过PBS-4反射后，由A4面进入TIR-I-4，经过B4面发生全反射后，经胶合面C4面进入TIR-II-1中， D1面进行第二次全反射，经过E1面出射，在两次全反射过程中，光场的偏振态始终为s型偏振光，最后，成像镜头将图像投射到工作面进行数字曝光。