[实用新型]一种锡锌铝电容器用金属化薄膜蒸镀机

摘要

本实用新型公开了一种锡锌铝电容器用金属化薄膜蒸镀机，包括真空室，真空室中设有冷却主鼓机构、放卷机构和收卷机构；冷却主鼓位于放卷机构和收卷机构之间下方；冷却主鼓机构下方设有锌蒸发源，锌蒸发源的上游一侧设有锡蒸发源，锡蒸发源与锌蒸发源之间设有锡锌隔离挡板，锌蒸发源的下游一侧设有铝蒸发源，铝蒸发源与锌蒸发源之间设有铝锌隔离挡板；锡锌隔离挡板、铝锌隔离挡板顶侧均设有蒸镀开口，所述蒸镀开口设有蒸镀导板。本实用新型采用机械传动，结构紧凑，简单高效，可减少传动机构对薄膜和金属镀层的机械损伤；真空空间小，减少真空泵的用量，节约能耗，而且，蒸发源之间具有隔离挡板，蒸镀效果好。

主权项

1.一种锡锌铝电容器用金属化薄膜蒸镀机，其特征在于：包括真空室(1)，所述真空室(1)中设有冷却主鼓机构(2)、放卷机构(3)和收卷机构(4)，所述冷却主鼓机构(2)与放卷机构(3)、收卷机构(4)之间均设有导辊(5)；所述冷却主鼓机构(2)位于放卷机构(3)和收卷机构(4)之间下方，三者的轴心连线呈等腰倒三角形状；所述冷却主鼓机构(2)下方设有锌蒸发源(6)，锌蒸发源(6)的上游一侧设有锡蒸发源(7)，所述锡蒸发源(7)与锌蒸发源(6)之间设有锡锌隔离挡板(9)，所述锌蒸发源(6)的下游一侧设有铝蒸发源(8)，所述铝蒸发源(8)与锌蒸发源(6)之间设有铝锌隔离挡板(10)，所述锡锌隔离挡板(9)、铝锌隔离挡板(10)安置在冷却主鼓的下方，形成相对独立的三个空间，锡蒸发源(7)、锌蒸发源(6)、铝蒸发源(8)分别放置在该三个空间内；所述锡锌隔离挡板(9)、铝锌隔离挡板(10)顶侧均设有蒸镀开口(11)，所述蒸镀开口(11)设有蒸镀导板(12)。