[实用新型]探针装置及自动调整探针压力的晶粒点测机有效

专利信息
申请号: 201820308898.2 申请日: 2018-03-06
公开(公告)号: CN207851234U 公开(公告)日: 2018-09-11
发明(设计)人: 邓朝旭 申请(专利权)人: 深圳市朝阳光科技有限公司
主分类号: G01R31/26 分类号: G01R31/26
代理公司: 深圳市深软翰琪知识产权代理有限公司 44380 代理人: 吴雅丽
地址: 518000 广东省深圳市龙华*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型涉及一种探针装置及自动调整探针压力的晶粒点测机,包括探针装置、Z轴自动升降装置和控制器,所述探针装置包括手动位置调节组件、压力传感器和探针,所述压力传感器用于检测探针压力;在整个LED芯片的检测过程中,由于探针压力通过Z轴自动升降装置调整并始终保持在预设范围内,从而保证了探针和LED芯片的良好接触,使晶粒点测机能够正常检测LED芯片的发光性能;不会因为探针压力过大,导致固定探针的部件发生形变而使弹性失效,由于无须考虑固定探针的组件因弹性失效而导致的维修问题,因此提高了晶粒点测机的稳定性,降低了维修成本。
搜索关键词: 晶粒 探针压力 探针装置 点测机 自动升降装置 压力传感器 固定探针 探针 本实用新型 调节组件 发光性能 检测探针 良好接触 手动位置 维修成本 维修问题 控制器 形变 检测 预设 保证
【主权项】:
1.一种探针装置,其特征在于,包括手动位置调节组件、压力传感器和探针,所述探针设置在压力传感器上,所述压力传感器设置在手动位置调节组件上,所述压力传感器用于检测探针压力。
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