[实用新型]曲面磁控溅射阴极、闭合磁场涂层磁控溅射设备

摘要

本实用新型公开了一种曲面磁控溅射阴极、闭合磁场涂层磁控溅射设备，该磁控溅射阴极包括曲面靶、水冷套、电极、绝缘套、屏蔽组件、磁靴、磁靴转动、支撑固定机构，绝缘套对阴极组件进行电位绝缘，屏蔽组件为放电过程中的悬浮电位组件，磁靴转动可实现磁靴的滑动，提高靶材的利用率，曲面靶靶材是由多组表面可复合非金属的金属基片瓦拼接并通过螺栓固定在由不锈钢管表面焊接水冷管的水冷套上，通过电极接通负电压进行磁控溅射辉光放电，受阴极形状限制，辉光放电中的电子发生汇聚产生空心阴极效应，即提高了溅射速率，又增强了粒子的离化率。本实用新型可在高真空下磁控溅射产生大束流高离化率的粒子，获得优质的涂层。

主权项

1.一种曲面磁控溅射阴极，包括阴极主体，该阴极主体包括有外磁体、绝缘套组件、靶材、电极和冷媒套，其特征在于：所述的靶材为带有一侧开口的曲面靶材，所述的曲面靶材的内部空腔构成气体电离区，该曲面靶材的开口处构成磁控溅射原子及离子的出射口，所述的冷媒套的内壁曲面轮廓形状与曲面靶材的外壁曲面轮廓形状相适配，且冷媒套包设于靶材的外侧构成热交换连接，所述的绝缘套组件包括有设置于外磁体和冷媒套之间的曲面绝缘套，所述的外磁体的内壁曲面轮廓形状与曲面绝缘套的外壁曲面轮廓形状相适配，且该外磁体滑移设置于曲面绝缘套的外壁曲面轮廓上，还包括有用于驱动外磁体沿曲面绝缘套的外壁曲面轮廓滑移的外磁体转动组件。