[实用新型]一种周转上料机构有效
申请号: | 201820251334.X | 申请日: | 2018-02-12 |
公开(公告)号: | CN208142145U | 公开(公告)日: | 2018-11-23 |
发明(设计)人: | 俞宗祥 | 申请(专利权)人: | 苏州卓樱自动化设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L21/677 |
代理公司: | 南京天华专利代理有限责任公司 32218 | 代理人: | 夏平 |
地址: | 215614 江苏省苏州市张家*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种周转上料机构,主要包括推片机构、第二移动滑台、安装主体、硅片花篮传送机构、第一储片框、第二储片框,以及第一移动滑台。所述推片机构通过螺栓与安装主体上侧相连接,所述第二移动滑台通过螺栓与安装主体下侧安装板相连接,所述硅片花篮传送机构安装于第二移动滑台上侧,所述第一移动滑台安装于第二移动滑台,所述第一储片框、第二储片框安装于第一移动滑台上侧。本实用新型所述周转上料机构具有结构紧凑、设备运行效率高、设备待机时间短等优点。 | ||
搜索关键词: | 移动滑台 片框 安装主体 上料机构 本实用新型 螺栓 传送机构 硅片花篮 推片机构 周转 设备运行效率 侧安装板 设备待机 移动 侧相 | ||
【主权项】:
1.一种周转上料机构,其特征在于:包括安装主体以及平行设置的第一移动滑台以及第二移动滑台,第二移动滑台设置在安装主体上;第一移动滑台上设有第一储片框和第二储片框,第二移动滑台上设有硅片花篮传送机构;硅片花篮传送机构包括平面旋转机构,平面旋转机构设于第二移动滑台上,竖直翻转机构设于平面旋转机构上,硅片花篮夹具设于竖直翻转机构上;平面旋转机构包括设置在第二移动滑台上的出力轴垂直设置的旋转气缸;竖直翻转机构包括设置在旋转气缸的出力轴上的翻转基座,翻转基座上设有出力轴水平设置的翻转动力装置,硅片花篮夹具包括连接在翻转动力装置的出力轴上的夹具基座,夹具基座上设有放置硅片花篮的框架,框架上设有压紧气缸,压紧气缸的活塞杆端部设有压紧硅片花篮的压紧块;安装主体上设有两个将硅片花篮传送机构中的硅片分别推入第一储片框或第二储片框中的液压推片机构,第一移动滑台上在第一储片框处设有第一升降座以及第一升降动力装置,第一升降座上设有将第一储片框中硅片送出的第一皮带机构,第一移动滑台上在第二储片框处设有第二升降座以及第二升降动力装置,第二升降座上设有将第二储片框中硅片送出的第二皮带机构。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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