[实用新型]一种可移动的碳化硅生长坩埚平台

摘要

本实用新型提供一种可移动的碳化硅生长坩埚平台，该坩埚通过传送机构运输碳化硅原料装置,实现了碳化硅坩埚的半自动化,根据所述碳热还原反应室内的红外高温测温计显示大小来调整精准控制所述感应线圈的加热功率，以及根据所述碳化硅晶体生长室的气体温度计显示大小来调整所述铜管内通以循环冷却水的量，继而控制所述碳热还原反应室和所述碳化硅晶体生长室内温度。

主权项

1.一种可移动的碳化硅生长坩埚平台，其特征在于，所述可移动的碳化硅生长坩埚装置包括：传送机构，所述传送机构包括传送带，所述传送带上装有碳化硅原料装置，所述传送带由双向运转的步进电机驱动；坩埚生长装置，包括碳热还原反应室、物质输送通道和碳化硅晶体生长室，所述坩埚生长装置通过传动机构带动使所述碳热还原反应室对接至所述传送带上的所述碳化硅原料装置，所述碳热还原反应室的壁面上设置有加热装置；控制器，所述控制器选择性控制所述传送带正向运动以将所述碳化硅原料装置运送至所述碳热反应室内，或所述传送带反向运动将所述碳化硅原料装置带离所述碳热反应室。