[实用新型]一种单晶硅生长炉电极升降机构

摘要

本实用新型公开了一种单晶硅生长炉电极升降机构，包括炉体、动力盒和防护壳，防护壳内壁连接隔温层，隔温层内壁连接电极，电极内部中部设置有冷却水管，防护壳上端通过电极螺栓连接加热器；本实用新型在结构上设计合理，实用性很高，工作时，电机通过旋转轴带动第一圆锥齿轮、第二圆锥齿轮和圆柱齿轮转动，圆柱齿轮通过轮齿条带动防护壳移动，从而实现了电极和加热器的升降，加热器的位置可随坩埚中晶体的变化而变化，坩埚周围热场温度更均衡，有利于晶体生长，提升生长晶棒的品质，在隔温层的作用下减少了加热器向冷却水管传递热量，节约了单晶硅生长炉的能耗，且本结构简单稳定，不影响原先位置的安装，适合批量化生产。

主权项

1.一种单晶硅生长炉电极升降机构，包括炉体(1)、动力盒(7)和防护壳(18)，其特征在于，所述炉体(1)内部设置有保温罩(5)，所述炉体(1)下端中部通过托杆护套连接坩埚托杆(2)，所述坩埚托杆(2)上端延伸到炉体(1)内部，所述坩埚托杆(2)上端连接坩埚托盘，所述干锅托盘上端连接石墨坩埚(3)，所述石墨坩埚(3)内壁连接石英坩埚(4)，所述炉体(1)底端设置有若干安装孔，所述安装孔内设置有电机(6)，所述电机(6)上端连接动力盒(7)，所述动力盒(7)内壁通过转轴连接第二圆锥齿轮(10)，所述第二圆锥齿轮(10)侧端连接圆柱齿轮(11)，所述电机(6)通过联轴器连接旋转轴(8)，所述旋转轴(8)上端设置有第一圆锥齿轮(9)，所述第一圆锥齿轮(9)啮合连接第二圆锥齿轮(10)，所述动力盒(7)侧端边缘对称设置有两条滑轨(17)，所述动力盒(7)侧端两条滑轨(17)之间开设有方形槽(21)，所述圆柱齿轮(11)侧端通过方形槽(21)中延伸到动力盒(7)外，所述防护壳(18)侧端设置有两条滑块(19)，所述防护壳(18)侧端两条滑块(19)之间设置有轮齿条(20)，所述滑块(19)通过滑轨(17)连接动力盒(7)，所述防护壳(18)内壁连接隔温层(12)，所述隔温层(12)内壁连接电极(13)，所述电极(13)内部中部设置有冷却水管(14)，所述防护壳(18)上端通过电极螺栓(15)连接加热器(16)。