[实用新型]一种单晶硅生长炉电极升降机构

说明书

本实用新型公开了一种单晶硅生长炉电极升降机构，包括炉体、动力盒和防护壳，防护壳内壁连接隔温层，隔温层内壁连接电极，电极内部中部设置有冷却水管，防护壳上端通过电极螺栓连接加热器；本实用新型在结构上设计合理，实用性很高，工作时，电机通过旋转轴带动第一圆锥齿轮、第二圆锥齿轮和圆柱齿轮转动，圆柱齿轮通过轮齿条带动防护壳移动，从而实现了电极和加热器的升降，加热器的位置可随坩埚中晶体的变化而变化，坩埚周围热场温度更均衡，有利于晶体生长，提升生长晶棒的品质，在隔温层的作用下减少了加热器向冷却水管传递热量，节约了单晶硅生长炉的能耗，且本结构简单稳定，不影响原先位置的安装，适合批量化生产。

技术领域

本实用新型涉及单晶硅制备领域，具体是一种单晶硅生长炉电极升降机构。

背景技术

单晶硅是一种比较活泼的非金属元素，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿。其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等。单晶硅生长炉是通过直拉法生产单晶硅的制造设备。主要由主机、加热电源和计算机控制系统三大部分组成。

目前在生长硅单晶的过程中，硅单晶生长的成功与否，以及质量的高低主要是由热场的温度分布决定的。温度分布合适的热场，不仅硅单晶生长顺利,而且品质较高；如果热场的温度分布不是很均匀很合理，生长硅单晶的过程中极容易产生各种缺陷，影响产品质量，严重情况下会出现变晶现象，生长不出来单晶。因此，本领域技术人员提供了一种单晶硅生长炉电极升降机构，以解决上述背景技术中提出的问题。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种单晶硅生长炉电极升降机构，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种单晶硅生长炉电极升降机构，包括炉体、动力盒和防护壳，所述炉体内部设置有保温罩，所述炉体下端中部通过托杆护套连接坩埚托杆，所述坩埚托杆上端延伸到炉体内部，所述坩埚托杆上端连接坩埚托盘，所述干锅托盘上端连接石墨坩埚，所述石墨坩埚内壁连接石英坩埚，所述炉体底端设置有若干安装孔，所述安装孔内设置有电机，所述电机上端连接动力盒，所述动力盒内壁通过转轴连接第二圆锥齿轮，所述第二圆锥齿轮侧端连接圆柱齿轮，所述电机通过联轴器连接旋转轴，所述旋转轴上端设置有第一圆锥齿轮，所述第一圆锥齿轮啮合连接第二圆锥齿轮，所述动力盒侧端边缘对称设置有两条滑轨，所述动力盒侧端两条滑轨之间开设有方形槽，所述圆柱齿轮侧端通过方形槽中延伸到动力盒外，所述防护壳侧端设置有两条滑块，所述防护壳侧端两条滑块之间设置有轮齿条，所述滑块通过滑轨连接动力盒，所述防护壳内壁连接隔温层，所述隔温层内壁连接电极，所述电极内部中部设置有冷却水管，所述防护壳上端通过电极螺栓连接加热器。

作为本实用新型进一步的方案：所述轮齿条与圆柱齿轮啮合连接。

作为本实用新型再进一步的方案：所述第一圆锥齿轮、第二圆锥齿轮和圆柱齿轮的材料均为耐热合金。

作为本实用新型再进一步的方案：所述电机选用伺服电机，且电机的数量至少为两个。

作为本实用新型再进一步的方案：所述冷却水管底部连接有四通接头。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型在结构上设计合理，实用性很高，工作时，电机通过旋转轴带动第一圆锥、第二圆锥齿轮和圆柱齿轮转动，圆柱齿轮通过轮齿条带动防护壳移动，从而实现了电极和加热器的升降运动，加热器的位置可随坩埚中晶体的变化而变化，坩埚周围热场温度更均衡，有利于晶体生长，提升生长晶棒的品质，在隔温层的作用下减少了加热器向冷却水管传递热量，节约了单晶硅生长炉的能耗，且本结构简单稳定，不影响原先位置的安装，适合批量化生产。

附图说明

图1为一种单晶硅生长炉电极升降机构中A的放大图。