[实用新型]一种静电卡盘及基板夹持装置有效
| 申请号： | 201820218084.X | 申请日： | 2018-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN207883673U | 公开（公告）日： | 2018-09-18 |
| 发明（设计）人： | 李昊轩 | 申请（专利权）人： | 昆山龙腾光电有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 215301 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例提供一种静电卡盘及基板夹持装置，静电卡盘包括依次层叠设置的背板、第一绝缘层、电路层及第二绝缘层，所述电路层包括多条第一电极线和多条第二电极线，所述多条第一电极线与所述多条第二电极线相互电绝缘并一一间隔分布；所述电路层包括与所述多条第一电极线电连接的第一电极焊盘，以及与所述多条第二电极线电连接的第二电极焊盘；所述静电卡盘还包括至少一个保护元件；所述保护元件串接于所述第一电极线中，在达到设定电压或电流阈值时，断开所述第一电极线；和/或，所述保护元件串接于所述第二电极线中，在达到设定电压或电流阈值时，断开所述第二电极线。本实用新型以实现增强静电卡盘的可靠性，延长静电卡盘的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 第二电极 第一电极 静电卡盘 电路层 绝缘层 基板夹持装置 本实用新型 元件串接 阈值时 断开 焊盘 线电 间隔分布 使用寿命 依次层叠 电绝缘 背板 | ||
【主权项】：
1.一种静电卡盘，包括依次层叠设置的背板、第一绝缘层、电路层及第二绝缘层，其特征在于，所述电路层包括多条第一电极线和多条第二电极线，所述多条第一电极线与所述多条第二电极线相互电绝缘并一一间隔分布；所述电路层包括与所述多条第一电极线电连接的第一电极焊盘，以及与所述多条第二电极线电连接的第二电极焊盘；所述静电卡盘还包括至少一个保护元件；所述保护元件串接于所述第一电极线中，在达到设定电压或电流阈值时，断开所述第一电极线；和/或，所述保护元件串接于所述第二电极线中，在达到设定电压或电流阈值时，断开所述第二电极线。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
