[实用新型]一种静电卡盘及基板夹持装置

说明书

本实用新型实施例提供一种静电卡盘及基板夹持装置，静电卡盘包括依次层叠设置的背板、第一绝缘层、电路层及第二绝缘层，所述电路层包括多条第一电极线和多条第二电极线，所述多条第一电极线与所述多条第二电极线相互电绝缘并一一间隔分布；所述电路层包括与所述多条第一电极线电连接的第一电极焊盘，以及与所述多条第二电极线电连接的第二电极焊盘；所述静电卡盘还包括至少一个保护元件；所述保护元件串接于所述第一电极线中，在达到设定电压或电流阈值时，断开所述第一电极线；和/或，所述保护元件串接于所述第二电极线中，在达到设定电压或电流阈值时，断开所述第二电极线。本实用新型以实现增强静电卡盘的可靠性，延长静电卡盘的使用寿命。

技术领域

本实用新型实施例涉及显示技术领域，尤其涉及一种静电卡盘及基板夹持装置。

背景技术

随着社会的发展，对平板显示设备的需求日益增加。在平板显示器(FPD)制造工艺过程中，特别是针对液晶显示器(LCD)以及有机显示发光显示器(OLED)，常使用吸盘或卡盘来支撑和吸附工件。常用的吸盘或卡盘有真空吸盘与静电卡盘(Electro Static Chuck，ESC)。

其中，双电级静电卡盘与真空吸盘相比具有其特有优点。由于双电级静电卡盘是通过被吸附物和两电极之间产生的库仑力对工件进行均匀的吸附固定，因此可以保证工件在被吸附状态下能够保持较高的平面度，这符合此行业中相关的工件加工要求。但静电卡盘在使用过程中，一旦绝缘层或电路层中混入杂质或产生破孔，绝缘层的绝缘特性便会被损坏，两电极之间的高压电场会导致绝缘层的击穿和电极间的短路，使得卡盘无法再继续使用，且维修卡盘需要整板更换绝缘层，工艺复杂，价格昂贵。

实用新型内容

本实用新型实施例提供一种静电卡盘及基板夹持装置，以实现增强静电卡盘的可靠性，延长静电卡盘的使用寿命。

第一方面，本实用新型实施例提供一种静电卡盘，包括依次层叠设置的背板、第一绝缘层、电路层和第二绝缘层，所述电路层包括多条第一电极线和多条第二电极线，所述多条第一电极线与所述多条第二电极线相互电绝缘并一一间隔分布；所述电路层包括与所述多条第一电极线电连接的第一电极焊盘，以及与所述多条第二电极线电连接的第二电极焊盘；

所述静电卡盘还包括至少一个保护元件；所述保护元件串接于所述第一电极线中，在达到设定电压或电流阈值时，断开所述第一电极线；和/或，所述保护元件串接于所述第二电极线中，在达到设定电压或电流阈值时，断开所述第二电极线。

进一步地，所述多条第一电极线或所述多条第二电极线中的每一条串接一个所述保护元件。

进一步地，所述多条第一电极线或所述多条第二电极线中的每一条串接一个所述保护元件。

进一步地，所述背板为金属板。

进一步地，所述背板远离所述电路层一侧设置有至少一个安装槽；每一所述保护元件位于一个所述安装槽内。

进一步地，所述静电卡盘还包括至少一个保护盖；所述保护盖与所述安装槽一一对应设置，用于保护所述安装槽中的所述保护元件。

进一步地，所述保护盖的材质为透明材质。

进一步地，所述保护元件为保险丝。

进一步地，所述保护元件为漏电保护开关。

第二方面，本实用新型实施例提供一种基板夹持装置，包括第一方面任一项所述的静电卡盘。