[实用新型]一种硅片切割用打磨装置

摘要

本实用新型公开了一种硅片切割用打磨装置，包括外壳、操作台和固定夹，所述外壳的下方连接有支撑柱，且支撑柱的内部安装有减震器，所述第一电机通过电机调速器与打磨平面相连接，且打磨平面的外侧设置有引流槽，所述操作台的上方设置有支撑架，且支撑架的内部连接有伸缩杆，所述连接板的内部开设有凹槽，且凹槽的内部连接有固定板，所述固定板的下方与硅片相连接，所述喷头的一端与导管相连接，且导管的另一端与水泵相连接，所述水泵通过软管与溶液罐相连接，所述外壳的外侧设置有控制台。该硅片切割用打磨装置设置有支撑柱、减震器和底座构成的支撑结构，减震器能够在该装置工作的过程中减缓装置的机械震动，从而提高硅片打磨的加工精度。

主权项

1.一种硅片切割用打磨装置，包括外壳（1）、操作台（5）和固定夹（22），其特征在于：所述外壳（1）的下方连接有支撑柱（2），且支撑柱（2）的内部安装有减震器（3），所述减震器（3）的下端连接有底座（4），所述操作台（5）设置在外壳（1）的上端，且操作台（5）的下方安装有第一电机（6），所述第一电机（6）通过电机调速器（7）与打磨平面（8）相连接，且打磨平面（8）的外侧设置有引流槽（9），所述引流槽（9）的下端连接有收集箱（10），且收集箱（10）通过连接管（11）与阀门（12）相连接，所述操作台（5）的上方设置有支撑架（13），且支撑架（13）的内部连接有伸缩杆（14），所述伸缩杆（14）的下端安装有第二电机（15），且第二电机（15）的下方连接有连接板（16），所述连接板（16）的内部开设有凹槽（17），且凹槽（17）的内部连接有固定板（18），所述固定板（18）的内部设置有卡块（19），且卡块（19）通过弹簧（20）与固定板（18）相连接，所述固定板（18）的下方与硅片（21）相连接，所述固定夹（22）设置在固定板（18）的上方，且固定夹（22）的内部连接有喷头（23），所述喷头（23）的一端与导管（24）相连接，且导管（24）的另一端与水泵（25）相连接，所述水泵（25）通过软管（26）与溶液罐（27）相连接，所述外壳（1）的外侧设置有控制台（28）。