[实用新型]双组份酸性蚀刻液循环再生装置有效
| 申请号: | 201820186337.X | 申请日: | 2018-02-02 |
| 公开(公告)号: | CN208087748U | 公开(公告)日: | 2018-11-13 |
| 发明(设计)人: | 何世武 | 申请(专利权)人: | 何世武 |
| 主分类号: | C23F1/46 | 分类号: | C23F1/46;C25C1/12 |
| 代理公司: | 深圳叁众知识产权代理事务所(普通合伙) 44434 | 代理人: | 杜立光 |
| 地址: | 518000 广东省深圳市宝*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | 本实用新型提供了一种双组份酸性蚀刻液循环再生装置,包括蚀刻废液储存槽、隔膜电解槽、再生液储存槽、水汽混合器、循环槽及盐酸供给装置,该双组份酸性蚀刻液循环再生装置还包括氯化铵供给装置,该氯化铵供给装置包括氯化铵储存槽、泵体及管道。该技术有效的解决现有隔膜电解技术蚀刻液在循环过程中需要添加大量盐酸,蚀刻液水体积膨胀,无法100%循环再利用的技术难题。 | ||
| 搜索关键词: | 循环再生装置 酸性蚀刻液 供给装置 储存槽 氯化铵 双组份 蚀刻液 盐酸 本实用新型 隔膜电解槽 水汽混合器 循环再利用 隔膜电解 技术难题 蚀刻废液 体积膨胀 循环过程 循环槽 再生液 泵体 | ||
【主权项】:
1.一种双组份酸性蚀刻液循环再生装置,包括蚀刻废液储存槽、隔膜电解槽、再生液储存槽、水汽混合器、循环槽及盐酸供给装置,所述隔膜电解槽包括阴极区和阳极区,所述蚀刻废液储存槽与所述隔膜电解槽相连,用于储存蚀刻产线的蚀刻废液,并提供至隔膜电解槽,所述再生液储存槽分别与所述隔膜电解槽和循环槽相连,用于储存隔膜电解槽的再生蚀刻液并提供至循环槽,所述水汽混合器用于将隔膜电解槽的氯气导入至所述循环槽中,所述循环槽用于将所述再生蚀刻液提供至蚀刻生产线,所述双组份酸性蚀刻液循环再生装置还包括氯化铵供给装置,所述氯化铵供给装置包括氯化铵储存槽、泵体及管道。
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