[实用新型]双组份酸性蚀刻液循环再生装置

权利要求书

1.一种双组份酸性蚀刻液循环再生装置，包括蚀刻废液储存槽、隔膜电解槽、再生液储存槽、水汽混合器、循环槽及盐酸供给装置，所述隔膜电解槽包括阴极区和阳极区，所述蚀刻废液储存槽与所述隔膜电解槽相连，用于储存蚀刻产线的蚀刻废液，并提供至隔膜电解槽，所述再生液储存槽分别与所述隔膜电解槽和循环槽相连，用于储存隔膜电解槽的再生蚀刻液并提供至循环槽，所述水汽混合器用于将隔膜电解槽的氯气导入至所述循环槽中，所述循环槽用于将所述再生蚀刻液提供至蚀刻生产线，所述双组份酸性蚀刻液循环再生装置还包括氯化铵供给装置，所述氯化铵供给装置包括氯化铵储存槽、泵体及管道。

2.如权利要求1所述的双组份酸性蚀刻液循环再生装置，其特征在于，所述氯化铵供给装置与所述蚀刻废液储存槽相连通，将氯化铵提供至所述蚀刻废液储存槽。

3.如权利要求1所述的双组份酸性蚀刻液循环再生装置，其特征在于，所述氯化铵供给装置与所述再生液储存槽相连通，将氯化铵提供至所述再生液储存槽。

4.如权利要求1所述的双组份酸性蚀刻液循环再生装置，其特征在于，在所述隔膜电解槽和所述再生液储存槽之间设置有再生液溢流槽。

5.如权利要求1所述的双组份酸性蚀刻液循环再生装置，其特征在于，还包括管道风机，所述管道风机的进气口与所述阳极区的排气口相连，所述管道风机的出气口与水汽混合器的进气口相连。

6.如权利要求1所述的双组份酸性蚀刻液循环再生装置，其特征在于，所述阴极区内设置阴极板，所述阴极板与直流电源的负极相连，所述阴极板的材质为金属钛，所述阴极板表面不含涂层。

7.如权利要求1所述的双组份酸性蚀刻液循环再生装置，其特征在于，所述阳极区设有阳极板，所述阳极板与直流电源的正极相连，所述阳极板的材质为金属钛，所述阳极板表层含有金属涂层。

8.如权利要求1所述的双组份酸性蚀刻液循环再生装置，其特征在于，所述所述隔膜电解槽包括多个阴极区。