[实用新型]一种气相沉积炉的密封结构有效
| 申请号： | 201820171861.X | 申请日： | 2018-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN208074171U | 公开（公告）日： | 2018-11-09 |
| 发明（设计）人： | 董家海 | 申请（专利权）人： | 浙江诺华陶瓷有限公司 |
| 主分类号： | F16J15/43 | 分类号： | F16J15/43;F16J15/32;C23C16/00 |
| 代理公司： | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 | 代理人： | 刘计成 |
| 地址： | 322100 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种气相沉积炉的密封结构，该气相沉积炉包括炉体，所述炉体上方设置有炉盖，所述炉盖中央凸起一管套，所述管套上端设置有端盘，所述端盘中央贯穿设置一竖向的旋转棒，所述端盘上方设置有磁流体密封套，所述磁流体密封套套接于所述旋转棒的圆周外侧。本实用新型采用磁流体密封技术，由于磁流体可进入磁场的整个间隙，密封效果极好，可保证炉内压力恒定，生产稳定，提高产品质量，通过骨架油封阻止磁流体进入炉内，保证生产不受影响，又通过O型密封圈密封保证各个结构之间的密封效果，实现完美配合，炉内恒压，生产稳定，产品质量高，企业效益好，实用性强。 | ||
| 搜索关键词： | 端盘 磁流体密封 密封结构 密封效果 沉积炉 磁流体 旋转棒 管套 炉内 炉体 恒定 磁流体密封套 本实用新型 气相沉积炉 骨架油封 炉盖中央 炉内压力 企业效益 上端 保证 恒压 炉盖 竖向 凸起 磁场 生产 密封 贯穿 配合 | ||
【主权项】：
1.一种气相沉积炉的密封结构，该气相沉积炉包括炉体，所述炉体上方设置有炉盖，所述炉盖中央凸起一管套，所述管套上端设置有端盘，所述端盘中央贯穿设置一竖向的旋转棒，其特征在于：所述端盘上方设置有磁流体密封套，所述磁流体密封套套接于所述旋转棒的圆周外侧。
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