[实用新型]一种气相沉积炉的密封结构

说明书

一种气相沉积炉的密封结构，该气相沉积炉包括炉体，所述炉体上方设置有炉盖，所述炉盖中央凸起一管套，所述管套上端设置有端盘，所述端盘中央贯穿设置一竖向的旋转棒，所述端盘上方设置有磁流体密封套，所述磁流体密封套套接于所述旋转棒的圆周外侧。本实用新型采用磁流体密封技术，由于磁流体可进入磁场的整个间隙，密封效果极好，可保证炉内压力恒定，生产稳定，提高产品质量，通过骨架油封阻止磁流体进入炉内，保证生产不受影响，又通过O型密封圈密封保证各个结构之间的密封效果，实现完美配合，炉内恒压，生产稳定，产品质量高，企业效益好，实用性强。

技术领域

本实用新型属于气相沉积炉密封技术领域，具体涉及一种气相沉积炉的密封结构。

背景技术

密封技术在我国的发展源远流长，古人曾经用棉、麻等纤维来做提水机械的密封件，而在国外，1782年也开始使用填料，如今国外已经出现研究密封规律、密封装置设计技术和应用科学原理的学科—“密封学”，由此可见密封技术的重要性；密封学所设计的专业领域非常多，除了材料和机械方面，还有力学（包括流体力学、边界层理论等）、摩擦学、自动控制等。密封件的作用使它成为国防、化工、石油、煤炭、交通运输和机械制造等国民经济主要行业中的基础部件和配件；近几年来，随着经济的高速增长，密封件制造业一直保持两位数的增长。

目前，生产氮化硼制品的工艺中需要使用到气相沉积炉，气相沉积炉的原理就是采用一种旋转结构使模具在炉体内部进行转动，在加热的条件下进行气相沉积；由于气相沉积炉内的工作环境一般需要控制在恒定的压力范围之内，所以就要求沉积炉具有良好的密封效果，特别是连接炉外的旋转结构与炉体之间的间隙，始终不能将其完全密封，密封效果不好，导致炉内压力不恒定，影响工艺过程，导致产品质量差，严重影响企业效益。

因此，有必要设计一种气相沉积炉的密封结构来解决上述问题。

发明内容

为克服上述现有技术中的不足，本实用新型目的在于提供一种气相沉积炉的密封结构。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供的技术方案是：一种气相沉积炉的密封结构，该气相沉积炉包括炉体，所述炉体上方设置有炉盖，所述炉盖中央凸起一管套，所述管套上端设置有端盘，所述端盘中央贯穿设置一竖向的旋转棒，所述端盘上方设置有磁流体密封套，所述磁流体密封套套接于所述旋转棒的圆周外侧。

优选的技术方案为：所述磁流体密封套与所述端盘之间设置有第一O型密封圈。

优选的技术方案为：所述磁流体密封套与所述端盘之间设置有骨架油封结构，所述骨架油封结构设置在所述旋转棒的圆周外侧。

优选的技术方案为：所述磁流体密封套与所述旋转棒之间设置有若干个第二O型密封圈。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有的优点是：

本实用新型采用磁流体密封技术，由于磁流体可进入磁场的整个间隙，密封效果极好，可保证炉内压力恒定，生产稳定，提高产品质量，通过骨架油封阻止磁流体进入炉内，保证生产不受影响，又通过O型密封圈密封保证各个结构之间的密封效果，实现完美配合，炉内恒压，生产稳定，产品质量高，企业效益好，实用性强。

附图说明

图1为气相沉积炉整体示意图。

图2为本实用新型示意图（A部放大图）。

以上附图中，炉体1，炉盖2，管套3，端盘4，旋转棒5，磁流体密封套6，第一O型密封圈7，骨架油封结构8，第二O型密封圈9。

具体实施方式

以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。