[实用新型]一种热丝CVD化学气相沉积的自动中心对准装置有效

专利信息
申请号: 201820152895.4 申请日: 2018-01-29
公开(公告)号: CN207958498U 公开(公告)日: 2018-10-12
发明(设计)人: 葛强;李发业 申请(专利权)人: 珠海中纳金刚石有限公司
主分类号: C23C16/27 分类号: C23C16/27
代理公司: 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 代理人: 俞梁清
地址: 519000 广东省珠海*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了一种热丝CVD化学气相沉积的自动中心对准装置,装置包括机架,所述机架上设置有模具固定架,所述模具固定架的两侧均设置有热丝定位架,一热丝定位架的外侧设置瞄准镜安装架,所述瞄准镜安装架上活动设置有瞄准镜。将瞄准镜与模具放置在同一轴线上,利用瞄准镜找到模具的内孔中心,使得热丝正好穿过模具的内孔中心,能够有效地解决热丝容易歪斜,中心不正,生产效率低下,废品率高的问题,使得生产的涂层精度高,成品率得到大大提高。
搜索关键词: 瞄准镜 热丝 模具 化学气相沉积 模具固定架 对准装置 自动中心 热丝CVD 安装架 定位架 内孔 本实用新型 歪斜 活动设置 生产效率 同一轴线 外侧设置 成品率 有效地 穿过 生产
【主权项】:
1.一种热丝CVD化学气相沉积的自动中心对准装置,包括机架(1),其特征在于:所述机架(1)上设置有模具固定架(2),所述模具固定架(2)的两侧均设置有热丝定位架,一热丝定位架的外侧设置瞄准镜安装架(3),所述瞄准镜安装架(3)上活动设置有瞄准镜(4)。
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