[实用新型]一种热丝CVD化学气相沉积的自动中心对准装置

权利要求书

1.一种热丝CVD化学气相沉积的自动中心对准装置，包括机架(1)，其特征在于：所述机架(1)上设置有模具固定架(2)，所述模具固定架(2)的两侧均设置有热丝定位架，一热丝定位架的外侧设置瞄准镜安装架(3)，所述瞄准镜安装架(3)上活动设置有瞄准镜(4)。

2.根据权利要求1所述的热丝CVD化学气相沉积的自动中心对准装置，其特征在于：所述模具固定架(2)上设置有容模具放置的V型槽(14)或楔形槽。

3.根据权利要求1所述的热丝CVD化学气相沉积的自动中心对准装置，其特征在于：所述热丝定位架包括弹簧定位架和压片定位架。

4.根据权利要求3所述的热丝CVD化学气相沉积的自动中心对准装置，其特征在于：所述弹簧定位架包括两侧的竖杆(5)，架设在竖杆(5)之间的横杆(6)，架设在横杆(6)前方的弹簧(7)。

5.根据权利要求4所述的热丝CVD化学气相沉积的自动中心对准装置，其特征在于：所述横杆(6)上还套设有定位环(8)，所述定位环(8)的圆周面上设置有容热丝卡入的限位槽(9)。

6.根据权利要求3所述的热丝CVD化学气相沉积的自动中心对准装置，其特征在于：所述压片定位架包括竖直设置的立杆(10)，所述立杆(10)上套设有上压片(11)和下压片(12)，所述立杆(10)上还螺纹连接有锁紧螺母(13)，所述锁紧螺母(13)分别位于上压片(11)和下压片(12)的上下表面。