[实用新型]一种提高产品均一性的MOCVD设备排气管道有效
| 申请号： | 201820127602.7 | 申请日： | 2018-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN207796394U | 公开（公告）日： | 2018-08-31 |
| 发明（设计）人： | 朱涛;窦荣;任亮亮;祝光辉;芦玲 | 申请（专利权）人： | 淮安澳洋顺昌光电技术有限公司 |
| 主分类号： | F16L55/07 | 分类号： | F16L55/07 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利中心 21200 | 代理人： | 温福雪 |
| 地址： | 223001*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型属于机械技工技术领域，涉及一种能够改善Aixtron CriusII MOCVD机型排气性能的管道结构，具体为一种提高产品均一性的MOCVD设备排气管道，将原有的双管隔离式排气管改成单管式排气管，原位于排气管中间的固定支柱改成位于边缘的固定边。本实用新型的单管式排气管相比双管隔离式排气管排气面积增大50％，气流能更顺畅的排出，避免了气体回流的产生。由于排气面积增大，管路中的废弃物不易聚积，减少了维护次数，有效提升了产能。 | ||
| 搜索关键词： | 排气管 本实用新型 面积增大 排气管道 单管式 隔离式 均一性 双管 排气 固定支柱 管道结构 排气性能 气体回流 固定边 气流能 原有的 聚积 产能 排出 废弃物 机型 维护 | ||
【主权项】：
1.一种提高产品均一性的MOCVD设备排气管道，其特征在于，将原有的双管隔离式排气管改成单管式排气管，单管式排气管的排气孔面积比原双管隔离式排气管的排气孔面积总和增加50％，排气管长度不变，原位于排气管中间的固定支柱改成位于边缘的固定边。
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