[实用新型]一种硅片清洗花篮有效
| 申请号: | 201820127357.X | 申请日: | 2018-01-25 |
| 公开(公告)号: | CN207743210U | 公开(公告)日: | 2018-08-17 |
| 发明(设计)人: | 傅林坚;沈文杰;谷士斌;蔡蔚;侯洪涛;任明冲;周学谦;宋元恒;潘文博 | 申请(专利权)人: | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司: | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人: | 周世骏 |
| 地址: | 312300 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | 本实用新型涉及太阳能电池技术,旨在提供一种硅片清洗花篮。该种硅片清洗花篮的主体为框体,框体包括侧板、底部支撑结构、横杆;侧板有两块,且两块侧板相对设置,每块侧板上开有孔;底部支撑结构固定安装于两块侧板之间,用于托放硅片的底边缘;横杆上具有齿状凸起,且横杆上的凸起之间等距平行分布,横杆安装于两块侧板之间,凸起用于隔离硅片。本实用新型对硅片之间的隔离效果好,利用本实用新型对硅片进行碱洗、酸洗、制绒和清洗时,不会产生硅片粘连。 | ||
| 搜索关键词: | 硅片 横杆 硅片清洗花篮 本实用新型 侧板 块侧 底部支撑结构 框体 凸起 太阳能电池技术 齿状凸起 等距平行 隔离效果 相对设置 底边缘 粘连 碱洗 酸洗 清洗 隔离 | ||
【主权项】:
1.一种硅片清洗花篮,主体为框体,用于装载硅片,其特征在于,所述框体包括侧板、底部支撑结构、横杆;侧板有两块,且两块侧板相对设置,每块侧板上开有孔;底部支撑结构固定安装于两块侧板之间,用于托放硅片的底边缘;所述横杆上具有齿状凸起,且横杆上的凸起之间等距平行分布,凸起用于隔离硅片;两块侧板的侧边之间至少设有四根横杆,横杆分别对称固定安装在两块侧板之间,用于限位硅片的侧边缘,并使两侧相对的两根横杆上的凸起相对设置;每根安装在两块侧板侧边之间的横杆,其凸起都与竖直方向成0°~20°夹角,且每根横杆的凸起都相互对应,使硅片能放入两侧所有横杆对应的凸起之间,硅片放入后能与侧板形成0°~20°夹角;在两块侧板的顶部之间可拆卸安装有至少一根横杆,用于限位硅片的顶部边缘。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





