[实用新型]一种自动翻转晶体镀膜装置

摘要

一种自动翻转晶体镀膜装置，包括动盘和位于动盘正下方的环形定盘，所述动盘中部设有三个转动杆连接孔，动盘上沿圆周均匀设有若干水平设置的晶体夹持翻转机构，所述晶体夹持翻转机构包括底座，底座一端设有一水平设置的电机，电机的四个电极分别与设于动盘底部的四个弹片电极柱电性相连，电机的输出轴与一竖直设置的第一夹板相连，底座的另一端设有一竖直设置的立板。本实用新型采用上述方案，它结构设计合理，在真空镀膜室中设置由步进电机带动的可自动旋转的晶体夹持装置，转速平稳，不用二次打开真空镀膜室，减少晶体污染，成膜质量好，降低了生产成本，实用性强。

主权项

一种自动翻转晶体镀膜装置，其特征在于：包括动盘和位于动盘正下方的环形定盘，所述动盘中部设有三个转动杆连接孔，动盘上沿圆周均匀设有若干水平设置的晶体夹持翻转机构，所述晶体夹持翻转机构包括底座，底座一端设有一水平设置的电机，电机的四个电极分别与设于动盘底部的四个弹片电极柱电性相连，电机的输出轴与一竖直设置的第一夹板相连，底座的另一端设有一竖直设置的立板，立板靠近第一夹板的一侧依次设有一水平设置的安装轴和一竖直设置的与第一夹板位置对正的第二夹板，第二夹板上开设有一水平设置的通孔，安装轴的一端通过轴承与立板可旋转连接，安装轴的另一端伸至通孔内与第二夹板可滑动连接，立板与第二夹板之间的安装轴上套设有一弹簧；所述环形定盘上沿周向设有若干个固定座，每个固定座上均开设有一固定孔，环形定盘上表面由内向外依次镀有四个与弹片电极柱位置对正相接触的电极环。