[实用新型]一种微型衍射光栅声压传感器有效
| 申请号： | 201820120842.4 | 申请日： | 2018-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN207763811U | 公开（公告）日： | 2018-08-24 |
| 发明（设计）人： | 刘斌;张凡明;刘庆;连锋;项祖为;汪金霞;胡浩 | 申请（专利权）人： | 合肥正阳光电科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01H9/00 | 分类号： | G01H9/00 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人： | 韩燕;金凯 |
| 地址： | 230088 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种微型衍射光栅声压传感器，包括有光源、微型干涉光腔和光电探测器，微型干涉光腔包括衍射光栅和敏感膜片，衍射光栅用于接收光源发出的光并反射形成参考光，敏感膜片用于接收透过衍射光栅的光并反射，敏感膜片反射且穿过衍射光栅的光和参考光干涉形成干涉光信号，光电探测器用于接收干涉光信号。本实用新型将外界声压信号作用于衍射光栅和敏感膜片组成的动态干涉光路，声压对敏感膜片的位移转化为对干涉光路的相位调制，经光电探测器转换后可得出解调信号，具有结构简单，灵敏度高，体积小巧等优点。本实用新型采用集成化干涉光路结构设计，消除了传统复杂结构的干涉光路元器件多等的问题，大大提高了传感器的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 衍射光栅 敏感膜片 本实用新型 光电探测器 反射 干涉光信号 声压传感器 干涉光路 参考光 干涉光 灵敏度 光源 干涉光路结构 动态干涉 复杂结构 解调信号 外界声压 相位调制 信号作用 集成化 传感器 元器件 光路 声压 穿过 干涉 转换 转化 | ||
【主权项】：
1.一种微型衍射光栅声压传感器，其特征在于：包括有光源、微型干涉光腔和光电探测器，所述的微型干涉光腔包括有衍射光栅和敏感膜片，衍射光栅用于接收光源发出的光并反射形成参考光，敏感膜片用于接收透过衍射光栅的光并反射，敏感膜片反射且穿过衍射光栅的光和参考光干涉形成干涉光信号，光电探测器用于接收干涉光信号。
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