[实用新型]一种微型衍射光栅声压传感器有效
| 申请号： | 201820120842.4 | 申请日： | 2018-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN207763811U | 公开（公告）日： | 2018-08-24 |
| 发明（设计）人： | 刘斌;张凡明;刘庆;连锋;项祖为;汪金霞;胡浩 | 申请（专利权）人： | 合肥正阳光电科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01H9/00 | 分类号： | G01H9/00 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人： | 韩燕;金凯 |
| 地址： | 230088 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 衍射光栅 敏感膜片 本实用新型 光电探测器 反射 干涉光信号 声压传感器 干涉光路 参考光 干涉光 灵敏度 光源 干涉光路结构 动态干涉 复杂结构 解调信号 外界声压 相位调制 信号作用 集成化 传感器 元器件 光路 声压 穿过 干涉 转换 转化 | ||
【权利要求书】：
1.一种微型衍射光栅声压传感器，其特征在于：包括有光源、微型干涉光腔和光电探测器，所述的微型干涉光腔包括有衍射光栅和敏感膜片，衍射光栅用于接收光源发出的光并反射形成参考光，敏感膜片用于接收透过衍射光栅的光并反射，敏感膜片反射且穿过衍射光栅的光和参考光干涉形成干涉光信号，光电探测器用于接收干涉光信号。
2.根据权利要求1所述的一种微型衍射光栅声压传感器，其特征在于：所述的光源选用VCSEL激光器或He-Ne激光器。
3.根据权利要求1所述的一种微型衍射光栅声压传感器，其特征在于：所述的微型干涉光腔的衍射光栅和敏感膜片为硅微一次成型结构。
4.根据权利要求1所述的一种微型衍射光栅声压传感器，其特征在于：所述的光电探测器设置于干涉光路的±1级衍射级次处。
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