[实用新型]基板传送装置及烘烤固化设备

摘要

本实用新型提供了一种基板传送装置，包括叉手单元和驱动单元，叉手单元包括沿竖直方向延伸的第一支撑杆，固设于第一支撑杆上的用于支承基板的第一叉手，平行于第一支撑杆的第二支撑杆，以及固设于第二支撑杆上的用于搬运基板的第二叉手，驱动单元包括驱使第一支撑杆转动的第一传动机构，驱使第二支撑杆升降和转动的第二传动机构，以及驱动机构；另外，本实用新型还提供了一种烘烤固化设备。本实用新型采用了第一叉手和第二叉手与第一传动机构和第二传动机构配合，通过第一传动机构驱使第一叉手摆动以支承基板，并且通过第二传动机构驱使第二叉手摆动和升降以沿竖直方向向上搬运基板，从而有效地解决了固化炉无法实现炉内动态传送基板的技术问题。

主权项

1.基板传送装置，安装于烘烤固化设备内，其特征在于：所述基板传送装置包括用于支承和搬运基板的叉手单元，以及驱使所述叉手单元沿竖直方向传送所述基板的驱动单元；所述叉手单元包括沿竖直方向延伸的第一支撑杆，固设于所述第一支撑杆上的用于支承所述基板的第一叉手，平行于所述第一支撑杆的第二支撑杆，以及固设于所述第二支撑杆上的用于搬运所述基板的第二叉手；所述驱动单元包括驱使所述第一支撑杆绕其中心轴转动的第一传动机构，驱使所述第二支撑杆升降和绕其中心轴转动的第二传动机构，以及与所述第一传动机构和所述第二传动机构传动连接的驱动机构。