[实用新型]基板传送装置及烘烤固化设备有效
| 申请号: | 201820109152.9 | 申请日: | 2018-01-22 |
| 公开(公告)号: | CN207765416U | 公开(公告)日: | 2018-08-24 |
| 发明(设计)人: | 朱小虎 | 申请(专利权)人: | 深圳市晶岛科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司: | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人: | 张全文 |
| 地址: | 518000 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 支撑杆 本实用新型 基板 基板传送装置 烘烤固化 驱动单元 支承基板 手单元 摆动 固设 竖直 搬运 升降 转动 动态传送 方向延伸 驱动机构 固化炉 有效地 炉内 平行 配合 | ||
本实用新型提供了一种基板传送装置,包括叉手单元和驱动单元,叉手单元包括沿竖直方向延伸的第一支撑杆,固设于第一支撑杆上的用于支承基板的第一叉手,平行于第一支撑杆的第二支撑杆,以及固设于第二支撑杆上的用于搬运基板的第二叉手,驱动单元包括驱使第一支撑杆转动的第一传动机构,驱使第二支撑杆升降和转动的第二传动机构,以及驱动机构;另外,本实用新型还提供了一种烘烤固化设备。本实用新型采用了第一叉手和第二叉手与第一传动机构和第二传动机构配合,通过第一传动机构驱使第一叉手摆动以支承基板,并且通过第二传动机构驱使第二叉手摆动和升降以沿竖直方向向上搬运基板,从而有效地解决了固化炉无法实现炉内动态传送基板的技术问题。
技术领域
本实用新型属于烘烤固化设备的技术领域,更具体地说,是涉及一种基板传送装置及烘烤固化设备。
背景技术
液晶显示模块的生产过程一般需要经过烘烤固化工序。
目前,完成液晶显示模块的烘烤固化工序一般是采用风循环层式固化炉,其工作原理是:在炉内设置多层竖直排列的料架,在每层料架上放置若干块基板,炉内加热机构对基板进行加热烘烤,同时,鼓风机向炉内吹风使炉内温度保持均匀,这样使得固化炉的占地面积小和热能损耗低。但是,在整个烘烤固化的过程中,基板在炉内处于静止状态,每次完成烘烤固化后需要打开设于固化炉一侧的炉门进行取、放基板,无法实现动态的传送,不仅费时,而且在取放基板的过程中会影响炉内空气的洁净度,导致热能的损失,炉内重新提升到规定温度需要一定时间,这样既对基板的良品率产生负面影响,又降低了整个烘烤固化的生产效率。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种基板传送装置及烘烤固化设备,以解决现有技术中,固化炉无法实现炉内动态传送基板的技术问题。
为了实现上述目的,本实用新型采用的技术方案是:提供了一种用于烘烤固化设备的基板传送装置,包括用于支承和搬运基板的叉手单元,以及驱使所述叉手单元沿竖直方向传送所述基板的驱动单元;所述叉手单元包括沿竖直方向延伸的第一支撑杆,固设于所述第一支撑杆上的用于支承所述基板的第一叉手,平行于所述第一支撑杆的第二支撑杆,以及固设于所述第二支撑杆上的用于搬运所述基板的第二叉手;所述驱动单元包括驱使所述第一支撑杆绕其中心轴转动的第一传动机构,驱使所述第二支撑杆升降和绕其中心轴转动的第二传动机构,以及与所述第一传动机构和所述第二传动机构传动连接的驱动机构。
进一步地,所述第一叉手包括紧固于所述第一支撑杆上的第一叉手本体,及自所述第一叉手本体朝水平方向向外延伸并沿竖直方向等间隔排列的多个第一手指;所述第二叉手包括紧固于所述第二支撑杆上的第二叉手本体,及自所述第二叉手本体朝水平方向向外延伸并沿竖直方向等间隔排列的多个第二手指。
进一步地,所述驱动机构包括基座,转动连接于所述基座上的传动主轴,套设于所述传动主轴上的第一同步轮,设置于所述基座旁侧的减速电机,转动连接于所述减速电机上的第二同步轮,以及与所述第一同步轮和所述第二同步轮传动连接的同步带。
进一步地,所述第二传动机构包括与所述第二支撑杆相接的第二传动轴,套设于所述传动主轴上的第二盘形凸轮,抵顶于所述第二盘形凸轮的工作面上的第二从动件,连接所述第二传动轴和所述第二从动件并驱使所述第二传动轴转动的导向传动组件,套设于所述传动主轴上并位于所述第二盘形凸轮底侧的端面凸轮,抵顶于所述端面凸轮的工作面上的第三从动件,以及连接所述第二传动轴和所述第三从动件并驱使所述第二传动轴升降的摆臂组件。
进一步地,所述导向传动组件包括套设于所述第二传动轴外周的第一轴套,与所述第一轴套紧固连接的导向轴,连接所述第二传动轴和所述导向轴的第二连接件,套设于所述传动主轴外周的第二联轴节,与所述第二从动件和所述第二联轴节活动连接的第三连杆,以及与所述第一轴套和所述第二联轴节活动连接的第四连杆;所述第二连接件的一端与第二传动轴紧固连接,所述第二连接件的另一端与所述导向轴滑动连接。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





