[实用新型]双栅极薄膜晶体管、柔性显示面板及装置有效

专利信息
申请号: 201820093219.4 申请日: 2018-01-19
公开(公告)号: CN207676912U 公开(公告)日: 2018-07-31
发明(设计)人: 张立祥;葛泳 申请(专利权)人: 云谷(固安)科技有限公司
主分类号: H01L29/861 分类号: H01L29/861;H01L29/423;H01L27/12;G09F9/30
代理公司: 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 代理人: 许志勇
地址: 065500 河*** 国省代码: 河北;13
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摘要: 实用新型实施例提供一种双栅极薄膜晶体管、柔性显示面板及装置,双栅极薄膜晶体管包括:基板、第一栅极、第一栅极绝缘层、有源层、第二栅极绝缘层、源极、漏极以及第二栅极,第一栅极设置于所述基板的上方;第一栅极绝缘层设置于所述基板的上方,且包覆所述第一栅极;有源层设置于所述第一栅极绝缘层上且所述有源层于所述基板上的正投影与所述第一栅极于所述基板上的正投影至少部分重叠;第二栅极绝缘层,设置于所述有源层上;第二栅极设置于所述第二栅极绝缘层上且所述第二栅极于所述基板上的正投影与所述第一栅极、所述有源层于所述基板上的正投影至少部分重叠;其中,所述有源层中形成有位于所述有源层的中间区域的沟道形成区。
搜索关键词: 栅极绝缘层 基板 源层 正投影 薄膜晶体管 双栅极 柔性显示面板 本实用新型 沟道形成区 中间区域 包覆 漏极 源极
【主权项】:
1.一种双栅极薄膜晶体管,其特征在于,包括:基板;第一栅极,设置于所述基板的上方;第一栅极绝缘层,设置于所述基板的上方且包覆所述第一栅极;有源层,设置于所述第一栅极绝缘层上,且所述有源层于所述基板上的正投影与所述第一栅极于所述基板上的正投影至少部分重叠;第二栅极绝缘层,设置于所述有源层上;第二栅极,设置于所述第二栅极绝缘层上,且所述第二栅极于所述基板上的正投影与所述第一栅极、所述有源层于所述基板上的正投影至少部分重叠;其中,所述有源层中形成有位于所述有源层的中间区域的沟道形成区。
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