[实用新型]双栅极薄膜晶体管、柔性显示面板及装置

说明书

本实用新型实施例提供一种双栅极薄膜晶体管、柔性显示面板及装置，双栅极薄膜晶体管包括：基板、第一栅极、第一栅极绝缘层、有源层、第二栅极绝缘层、源极、漏极以及第二栅极，第一栅极设置于所述基板的上方；第一栅极绝缘层设置于所述基板的上方，且包覆所述第一栅极；有源层设置于所述第一栅极绝缘层上且所述有源层于所述基板上的正投影与所述第一栅极于所述基板上的正投影至少部分重叠；第二栅极绝缘层，设置于所述有源层上；第二栅极设置于所述第二栅极绝缘层上且所述第二栅极于所述基板上的正投影与所述第一栅极、所述有源层于所述基板上的正投影至少部分重叠；其中，所述有源层中形成有位于所述有源层的中间区域的沟道形成区。

技术领域

本实用新型涉及显示技术领域，特别涉及一种双栅极薄膜晶体管、柔性显示面板及装置。

背景技术

柔性显示装置是一种基于柔性基底材料制备形成的显示装置。由于柔性显示装置具有可弯曲、宽视角、便于携带等特点，在携带产品、多数显示应用领域柔性显示装置具有广阔的应用前景以及良好的市场潜力。

图1A为拉伸弯曲的示意图，图1B为压缩弯曲的示意图，其中10表示底栅型薄膜晶体管。底栅型薄膜晶体管在实现图1A所示的拉伸弯曲或图1B所示的压缩弯曲时，与有源层接触的膜层(即栅极绝缘层)在应力的作用下，缺陷会增多，从而造成沟道形成区的载流子浓度增大，进而造成漏电流Id增大，影响柔性显示装置的显示效果。

实用新型内容

本实用新型一实施例的目的是提供一种双栅极薄膜晶体管、柔性显示面板及装置，以解决上述问题。

为了达到上述目的，第一方面，本实用新型一实施例提供一种双栅极薄膜晶体管，包括：

基板；

第一栅极，设置于所述基板的上方；

第一栅极绝缘层，设置于所述基板的上方，且包覆所述第一栅极；

有源层，设置于所述第一栅极绝缘层上，且所述有源层于所述基板上的正投影与所述第一栅极于所述基板上的正投影至少部分重叠；

第二栅极绝缘层，设置于所述有源层上；

第二栅极，设置于所述第二栅极绝缘层上，且所述第二栅极于所述基板上的正投影与所述第一栅极、所述有源层于所述基板上的正投影至少部分重叠；

其中，所述有源层中形成有位于所述有源层的中间区域的沟道形成区。

在一实施例中，还包括：

源极，设置于所述有源层的一侧且与所述有源层相接触；

漏极，设置于所述有源层的另一侧且与所述有源层相接触。

在一实施例中，还包括：

层间绝缘层，设置于所述第一栅极绝缘层上且与所述有源层、所述第二栅极绝缘层形成第一开孔以及第二开孔，所述源极设置于所述第一开孔中，所述漏极设置于所述第二开孔中。

在一实施例中，还包括：

钝化层，设置于所述第二栅极、所述源极、所述漏极上。

在一实施例中，所述第一栅极与所述第二栅极的长度和宽度相同，且所述第二栅极于所述基板上的正投影与所述第一栅极于所述基板上的正投影重合。

在一实施例中，所述第二栅极、所述源极、所述漏极相对于所述有源层的高度相同。

在一实施例中，还包括：

缓冲层，设置于所述基板上，所述第一栅极、所述第一栅极绝缘层设置于所述缓冲层上。

在一实施例中，所述有源层由氧化物半导体形成。