[实用新型]一种溅射装置有效
| 申请号： | 201820077050.3 | 申请日： | 2018-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN207775342U | 公开（公告）日： | 2018-08-28 |
| 发明（设计）人： | 龙海涛;白海涛;王海胜;赵君壮;徐川川;张然;毛洪云;周衡;李丹丹;朱凯 | 申请（专利权）人： | 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 郭润湘 |
| 地址： | 230012 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及液晶显示器制造领域，公开了一种溅射装置，包括搬运器本体；多组夹持组件，多组夹持组件围成实验板的放置区，多组夹持组件包括至少一对第一夹持部，每一对第一夹持部中的两个第一夹持部相对设置于放置区两侧，且每一个第一夹持部通过第一连接板安装于搬运器本体；用于调节第一夹持部与搬运器本体垂直于实验板所在平面方向的距离的第一调节组件，第一调节组件设置于搬运器本体与第一连接板间。上述溅射装置中，当第一夹持部与其余夹持组件不在同一平面时，可通过第一调节组件调节第一连接板与搬运器本体间的距离，将第一夹持部与其余夹持组件调节至同一平面上，避免了对第一连接板的更换，降低了溅射设备的使用成本。 | ||
| 搜索关键词： | 夹持部 搬运器 连接板 调节组件 多组夹持 溅射装置 夹持组件 放置区 实验板 液晶显示器制造 本实用新型 溅射设备 所在平面 相对设置 组件包括 垂直 | ||
【主权项】：
1.一种溅射装置，其特征在于，包括：搬运器本体；用于夹持实验板各个侧边的多组夹持组件，多组所述夹持组件围成所述实验板的放置区，多组所述夹持组件包括至少一对第一夹持部，每一对所述第一夹持部中的两个第一夹持部相对设置于所述放置区两侧，且每一个所述第一夹持部通过第一连接板安装于所述搬运器本体；用于调节所述第一夹持部与所述搬运器本体垂直于所述实验板所在平面方向的距离的第一调节组件，所述第一调节组件设置于所述搬运器本体与所述第一连接板间。
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