[实用新型]一种溅射装置

说明书

本实用新型涉及液晶显示器制造领域，公开了一种溅射装置，包括搬运器本体；多组夹持组件，多组夹持组件围成实验板的放置区，多组夹持组件包括至少一对第一夹持部，每一对第一夹持部中的两个第一夹持部相对设置于放置区两侧，且每一个第一夹持部通过第一连接板安装于搬运器本体；用于调节第一夹持部与搬运器本体垂直于实验板所在平面方向的距离的第一调节组件，第一调节组件设置于搬运器本体与第一连接板间。上述溅射装置中，当第一夹持部与其余夹持组件不在同一平面时，可通过第一调节组件调节第一连接板与搬运器本体间的距离，将第一夹持部与其余夹持组件调节至同一平面上，避免了对第一连接板的更换，降低了溅射设备的使用成本。

技术领域

本实用新型涉及液晶显示器制造领域，特别涉及一种溅射装置。

背景技术

目前，在溅射设备中通常通过搬运器夹持白玻璃来进行靶材的预溅射和轰靶，但是，搬运器上下侧使用的铝板经过长时间的轰击与清洗后会导致与搬运器整体不在一个平面上，此时需对铝板进行更换，使得溅射设备的使用成本较高。

实用新型内容

本实用新型提供了一种溅射装置，该溅射装置中，当第一夹持部与其余夹持组件不在同一平面时，可通过第一调节组件调节第一连接板与搬运器本体间的距离，将第一夹持部与其余夹持组件调节至同一平面上，避免了对第一连接板的更换，降低了溅射设备的使用成本。

为达到上述目的，本实用新型提供以下技术方案：

一种溅射装置，包括：

搬运器本体；

用于夹持实验板各个侧边的多组夹持组件，多组所述夹持组件围成所述实验板的放置区，多组所述夹持组件包括至少一对第一夹持部，每一对所述第一夹持部中的两个第一夹持部相对设置于所述放置区两侧，且每一个所述第一夹持部通过第一连接板安装于所述搬运器本体；

用于调节所述第一夹持部与所述搬运器本体垂直于所述实验板所在平面方向的距离的第一调节组件，所述第一调节组件设置于所述搬运器本体与所述第一连接板间。

上述溅射装置中，搬运器本体上设有多组夹持组件，夹持组件位于同一平面上且围成实验板的放置区，当本溅射装置通过夹持组件夹持实验板来进行靶材的预溅射和轰靶，在第一连接板经过长时间的轰击和清洗后，第一连接板易发生形变，导致第一夹持部与其余夹持组件不在同一平面上，此时，通过第一调节组件调节第一连接板与搬运器本体间的距离，将第一夹持部与其余夹持组件调节至同一平面上，有效地避免了由于第一夹持部与其余夹持组件不在同一平面上而对第一连接板进行更换，从而提高了第一连接板的使用寿命，提高了溅射装置的使用寿命，且当使用玻璃材质的实验板时，通过第一调节组件将第一夹持部与其余夹持组件调节至同一平面上，可有效防止实验板破片，从而提高了实验板的寿命，降低了成本。

优选地，所述夹持组件还包括一对相对设置的第二夹持部，所述第二夹持部与所述第一夹持部围成四边形的所述放置区。

优选地，所述第二夹持部通过第二连接板与所述搬运器本体连接，所述第二连接板与所述搬运器本体间设置有第二调节组件，用以调节所述连接板与所述搬运器本体间垂直于所述实验板所在平面方向的距离。

优选地，所述第一调节组件包括位于所述第一连接板与所述搬运器本体间的弹性部件、和用于调节所述弹性部件弹性变量的调节元件。

优选地，所述搬运器本体上设有通孔，所述第一连接板与所述通孔对应设置有螺纹孔，所述调节元件包括螺钉，所述螺钉经所述通孔贯穿所述弹性部件与所述螺纹孔配合，以调节所述搬运器本体与所述第一连接板间的距离。

优选地，所述搬运器本体上设有螺纹孔，所述调节元件包括螺钉，所述螺钉与所述螺纹孔配合，且所述螺纹孔的旋入端与所述第一连接板的一侧相抵。

优选地，所述第一连接板部为铝板、且与所述实验板在同一平面内。