[实用新型]一种半导体加工设备抽气腔室

摘要

本实用新型公开了一种半导体加工设备抽气腔室，包括抽气腔室，抽气腔室的外侧固定设有外套腔室，外套腔室和抽气腔室之间设有空腔，该空腔的左右端分别独立设有进气腔和出气腔，进气腔内活动设有进气阀塞，进气阀塞活动插接在进气孔内。本实用新型工作时通过驱动机构带动辊轴以一定的转速转动，控制滑轴沿着辊轴的轴线方向左右运动，从而带动活动轴左右运动，当活动轴运动最左端时，进气阀塞正好脱离进气孔，出气阀塞正好完全卡接在出气孔内，此时抽气腔室内可完成抽气工作，当活动轴运动最右端时，进气阀塞正好完全卡接在进气孔内，出气阀塞正好脱离出气孔，此时抽气腔室内可完成进气工作。

主权项

1.一种半导体加工设备抽气腔室，包括抽气腔室（1），其特征在于：所述抽气腔室（1）的外侧固定设有外套腔室（2），所述外套腔室（2）和抽气腔室（1）之间设有空腔，该空腔的左右端分别独立设有进气腔（201）和出气腔（202），所述进气腔（201）内活动设有进气阀塞（301），所述进气阀塞（301）活动插接在进气孔（101）内，所述进气孔（101）贯穿抽气腔室（1）的一侧端面，所述出气腔（202）内活动设有出气阀塞（302），所述出气阀塞（302）活动插接在出气孔（102）内，所述出气孔（102）贯穿抽气腔室（1）的另一侧端面，所述进气阀塞（301）和出气阀塞（302）分别安装在活动轴（3）的两端，所述活动轴（3）滑动插接在固定套轴（5）内，所述固定套轴（5）固定安装在外套腔室（2）的底端，且固定套轴（5）的底端固定设有滑轴（6），所述滑轴（6）活动插接在辊轴（7）的轴槽（701）内。