[实用新型]图像投影装置和系统

摘要

本实用新型描述了图像投影装置和系统。本实用新型的实施方式总体涉及用于执行光刻工艺的装置和系统。更具体地，提供用于将图像投影到基板上的紧凑装置。在一个实施方式中，图像投影装置包括耦接到第一安装板的光导管，以及耦接到第二安装板的受抑棱镜组件、一个或多个数字微镜器件、一个或多个分束器和一个或多个投影光学器件。所述第一安装板和第二安装板是共面的，使得所述图像投影装置紧凑并且可在具有多个图像投影装置的系统中被对准，每个图像投影装置可易于拆卸和替换。

主权项

1.一种图像投影装置，其特征在于，所述图像投影装置包括：第一安装板；光源，所述光源耦接到所述第一安装板；第二安装板，其中所述第一安装板和第二安装板是共面的；受抑棱镜组件，所述受抑棱镜组件耦接到所述第二安装板并定位在所述光源的下游；一个或多个数字微镜器件，所述一个或多个数字微镜器件耦接到所述受抑棱镜组件；聚焦传感器和相机，所述聚焦传感器和所述相机耦接到所述第二安装板并定位在所述受抑棱镜组件的下游；以及一个或多个投影光学器件，所述一个或多个投影光学器件耦接到所述第二安装板并定位在所述聚焦传感器和所述相机的下游。