[实用新型]图像投影装置和系统

说明书

本实用新型描述了图像投影装置和系统。本实用新型的实施方式总体涉及用于执行光刻工艺的装置和系统。更具体地，提供用于将图像投影到基板上的紧凑装置。在一个实施方式中，图像投影装置包括耦接到第一安装板的光导管，以及耦接到第二安装板的受抑棱镜组件、一个或多个数字微镜器件、一个或多个分束器和一个或多个投影光学器件。所述第一安装板和第二安装板是共面的，使得所述图像投影装置紧凑并且可在具有多个图像投影装置的系统中被对准，每个图像投影装置可易于拆卸和替换。

本申请是申请日为2017年1月26日、申请号为201720101928.8、实用新型名称为“图像投影装置和系统”的实用新型专利申请的分案申请。

技术领域

本实用新型的实施方式总体涉及用于处理一个或多个基板的装置和系统，并且更具体地涉及用于执行光刻工艺的装置。

背景技术

光刻广泛用于半导体器件和显示器件的制造，诸如液晶显示器(liquid crystaldisplays；LCD)。大面积基板经常用于LCD的制造中。LCD或平板通常用于有源矩阵显示器，诸如计算机、触摸板设备、个人数字助理(personal digital assistants；PDA)、手机、电视机监视器等等。通常，平板可以包括夹在两个板之间形成像素的液晶材料层。当来自于电源的功率横跨液晶材料被施加时，可在能够产生图像的像素位置处控制穿过该液晶材料的光量。

通常采用显微光刻技术来创建电气特征，这些电气特征被并入为形成像素的液晶材料层的一部分。根据这些技术，通常将光敏光刻胶施加到基板的至少一个表面。随后，图案产生器用光来使光敏光刻胶的作为图案的一部分的选定区域曝光，以使可选区域中的光刻胶发生化学变化来为随后的材料移除和/或材料添加工艺准备这些可选区域，以便创建电气特征。

为了继续以消费者所需要的价格提供显示器件和其他器件，需要新的装置和方法来在基板(诸如大面积基板)上精确且具有成本效益地创建图案。

实用新型内容

本实用新型的实施方式总体涉及用于执行光刻工艺的装置和系统。更具体地，提供用于将图像投影到基板上的紧凑装置。在一个实施方式中，图像投影装置包括耦接到第一安装板的光导管，以及耦接到第二安装板的受抑棱镜组件 (frustrated prismassembly)、一个或多个数字微镜器件、一个或多个分束器和一个或多个投影光学器件。所述第一安装板和第二安装板是共面的，使得所述图像投影装置紧凑并且可在具有多个图像投影装置的系统中被对准，每个图像投影装置可易于拆卸和替换。

根据本实用新型的一个方面，提供了一种图像投影装置，所述图像投影装置包括：第一安装板；光源，所述耦接到所述第一安装板光源；第二安装板，其中所述第一安装板和第二安装板是共面的；受抑棱镜组件，所述受抑棱镜组件耦接到所述第二安装板并定位在所述光源的下游；一个或多个数字微镜器件，所述一个或多个数字微镜器件耦接到所述受抑棱镜组件；聚焦传感器和相机，所述聚焦传感器和所述相机耦接到所述第二安装板并定位在所述受抑棱镜组件的下游；以及一个或多个投影光学器件，所述一个或多个投影光学器件耦接到所述第二安装板并定位在所述聚焦传感器和所述相机的下游。

在一些实施方式中，上述图像投影装置中的所述光源包括发光器件。

在一些实施方式中，上述图像投影装置中的所述光源包括一个或多个激光器。

在一些实施方式中，上述图像投影装置进一步包括：光捕集器，所述光捕集器耦接到所述受抑棱镜组件。

在一些实施方式中，上述图像投影装置进一步包括：一个或多个分束器，所述一个或多个分束器耦接到所述第二安装板并定位在所述受抑棱镜组件的下游。

在一些实施方式中，上述图像投影装置中的所述聚焦传感器和相机耦接到所述一个或多个分束器。